中古 RUDOLPH AUTO EL #9296295 を販売中

RUDOLPH AUTO ELは、さまざまな表面に薄膜層を高精度に測定する最先端の楕円計です。RUDOLPH AUTOELは、誘電体、無機材料、導電性材料など、ほぼすべての材料から層の厚さを正確に測定できます。このツールは、材料の光学特性を測定するための光学技術である光学楕円測定に依存しています。フィルム材料の反射または透過時の光の散乱特性に基づいており、選択した層の厚さと光学定数をプロファイリングする方法を提供します。AUTO ELは、10度単位で45〜90度の発生角度を調整可能な高度な複数角度楕円測定を提供します。これにより、ユーザーは反射強度の光学校正スペクトルを収集することができます。サンプルは、単一の低消費電力のHeNeレーザービームによって照らされ、サンプルの光学特性を変化させる電気的および熱暖房を避けます。試料の平面回転は任意の薄膜材料の測定を向上させるため、より正確な分析のために複数の発生角度を考慮することができます。角度校正の必要性を排除する絶対角度測定オプションもあります。AUTOELは、液晶ライトモジュレータを使用して入射角度と偏光を変更し、容易な角度スキャンと偏光を可能にします。RUDOLPH AUTO ELに組み込まれたソフトウェアを使用すると、光束、偏光、発生角度、変調周波数など、いくつかの光機械的パラメータを素早く調整できます。これは、任意の入力ビーム結果を光学特性と層の厚さの点で解釈することができます。この楕円計のデータ解釈機能には、物理的影響を補正するための多くの高度なアルゴリズムが含まれています。RUDOLPH AUTOELは、ラボ内の薄い光学層を監視するための高信頼性で汎用性の高いツールです。これにより、ユーザーは正確で再現性のあるデータで大規模な薄膜測定を実行することができます。AUTO ELは、金属や誘電体薄膜層の精密解析、半導体計測、薄膜解析、光学材料研究など、さまざまな分野への応用に最適なツールです。