中古 RUDOLPH AUTO EL #9259748 を販売中

RUDOLPH AUTO ELは、膜厚、屈折率、絶滅係数、反射率などの薄膜の光学特性を測定する高度な光学および分光技術を使用した楕円計です。楕円計は、発生角度と偏光角度を使用して、サンプルの反射率を最高精度で測定します。密閉された光学系による汚染を回避し、非常に小さなサンプルの測定の再現性を確保します。楕円計は可視およびNIR範囲（400〜1650 nm）で動作し、高速スキャンメカニズムにより高速で信頼性の高い測定が可能です。楕円形計は明確で、簡潔なデータ表示を提供する大きいLCD表示が付いている現代アルミニウム包装に収容されます。また、USBポートと取り外し可能なUSBドライブを備えており、簡単なデータストレージと共有を可能にします。楕円計に付随するソフトウェアは包括的であり、統計分析のためのデータの様々なパラメトリック表示オプションと後処理を可能にします。エリプソメーターには、測定チャンバーからサンプルを簡単に積み降ろしできる自動サンプルハンドリングシステムと、サンプルを光学系に自動アライメントするシステムが含まれています。これにより、正しいサンプル配置が保証され、オペレータのエラーが最小限に抑えられます。オートアライメント機能は、正確で再現性のあるデータ取得を保証する簡単な方法も提供します。自動化された洗浄サイクルにより、測定前の表面処理が保証され、干渉物質を排除し、正確さを正確に保証します。RUDOLPH AUTOELは、組み込みのナノメートルレベルの位置制御により、正確で信頼性の高い測定を提供します。これは、0。1°の光学分解能と0。1°から5°の標準測定角度で、正確かつ迅速に測定を実行します。エリプソメータは、膜厚、表面形状、スクラッチイメージング、反射率など、幅広い測定範囲を提供します。さらに、エリプソメーターは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、その分析技術はLCDディスプレイに簡単にグラフィカルに表示されます。強力なソフトウェアにより、自動スキャンルーチンやパラメータスイープなどのオプションを追加できます。その柔軟性により、ユーザーは設定をカスタマイズし、さまざまな方法でデータをソートすることができます。全体的にAUTO ELは、高精度な位置決めシステムと自動サンプル処理により、優れた精度と再現性を提供する高度な楕円計です。可視および近赤外線スペクトルにおける薄膜の光学特性の測定に適しており、最大5nmの精度を有する。直感的なLCDディスプレイと包括的なソフトウェアにより、AUTOELは膜厚特性評価およびプロセス監視におけるさまざまなアプリケーションに最適です。