中古 RUDOLPH AUTO EL #9221065 を販売中

RUDOLPH AUTO ELは、超精密で再現性のある光学薄膜特性評価用に設計された、自動化された使いやすい楕円計です。楕円計は、薄膜関連材料を通過する際の単色光の偏光の変化を測定します。RUDOLPH AUTOELは、光学薄膜の迅速なリアルタイム測定を可能にするとともに、ウェハ全体にわたって厚さマッピング機能を提供します。直感的で使いやすいインターフェースを備えたAUTO ELの3軸モーター付き回転ステージは、2次元と3次元のレイヤーの両方のマッピングを高速に測定できます。楕円計は、酸化物、窒化物、レジスト層を含む幅広い光学材料を測定することができ、最大10〜μ mの厚い層と最大200 nmの膜の両方を正確に特徴付けることができます。さらに、サンプルを自動追跡し、測定ヘッドの光学位置を調整して正確な反射または伝送モード測定を行う自動フォトメトリックイメージングツールを搭載しています。精度の面では、AUTOELは4-5％まで非常に高い再現性と再現性を提供します。さらに、オートフォーカス機能は、最適化された光学パッケージを使用して、各画像の最高精度を確保し、サブnm解像度の正確な深さプロファイルを可能にします。さらに使いやすくするために、このシステムはRUDOLPH Autoloader AL100-C （5スロット、自動化されたモーター式ロードステーション）とシームレスに統合し、フルオートメーションと同時測定が可能です。これにより、手動で読み込むことなく、マルチサイト測定を素早く開始できます。全体として、RUDOLPH AUTO ELは、精密で再現可能な光学薄膜特性を必要とする研究所に最適です。自動ローダーと優れた精度で、研究と品質管理の両方にとって非常に貴重なツールです。