中古 RUDOLPH AUTO EL #293821816 を販売中
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RUDOLPH AUTO ELは、薄膜材料の物理的および化学的特性を測定するために使用される自動楕円計です。楕円測定は、屈折率や薄膜材料の厚さなどの光学特性を正確かつ定量的に測定することができます。RUDOLPH AUTOELは、厚さ2nm以下の層を測定することができ、高出力レーザーと特殊光検出器を内蔵しており、様々な試料材料に対して高精度な測定が可能です。AUTO ELは、測定ステーション、キセノンランプ付き分光器、データ収集・解析コンピュータから構成されています。分光計はモノクロメータと2つの光検出器で構成され、フィルム試料表面から反射した偏光の強度分布を測定するために使用されます。モノクロメータは、リファレンスとサンプル構成の間を回転することができ、さまざまな楕円角を測定することができます。一方、2つの光検出器は、インシデントを測定し、2つの異なる方向に強度分布を反射します。測定ステーションは、レーザーを使用して偏光入射光を生成し、サンプル反射率を測定し、分光計からデータを収集する責任があります。インシデント偏光は直線的に供給され、次に異方性光学成分によって回転して所望の光の偏光を生成します。さらに、ステーションには反射板があり、サンプルを正しい方向に整列させるのに役立ちます。データ収集・解析コンピュータは、測定ステーションと分光計と連動しており、楕円計から取得したデータを解釈するために使用されます。フーリエ変換を使用して、サンプルの物理的および化学的特性を抽出するためにデータを分析します。次に、これらの特性を使用して、屈折率と厚さを含むサンプル材料を特性化します。AUTOELは、上記の薄膜材料の特性を決定するための貴重なツールであり、研究者は新しい特性を発見し、研究されている材料のユニークな光学特性を理解することができます。RUDOLPH AUTO ELは、サンプル反射率の測定とデータ解析を組み合わせて、薄膜材料の光学特性を測定するための正確で効率的で信頼性の高いシステムを提供します。
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