中古 RUDOLPH AUTO EL (NIR-3) #9122499 を販売中

RUDOLPH AUTO EL （NIR-3）は、RUDOLPH Research Analyticalによって製造された自動楕円計です。薄膜材料の厚さ、組成、光定数および関連パラメータを測定するための非接触光学装置です。リアルタイム分光、イメージング、データ解析を組み合わせて、幅広い用途における薄膜表面の様々な特性を測定します。RUDOLPH AUTO ELは、700〜2300nmの波長範囲の光で薄膜試料を選択的に照射する統合近赤外線（NIR）ソースを搭載しています。この光は試料表面から反射され、統合されたNIR分光計によって収集されます。分光測定を通じて、これらの光信号は、屈折率、絶滅係数、層の厚さ、およびその他の薄膜材料のパラメータに関する詳細な情報を提供します。この装置には、サンプル表面の高解像度画像を記録するための複数のカメラが装備されています。統合されたイメージングシステムは、最先端のオートフォーカスと倍率モーターシステムによって制御され、光学部品を正確に配置して正確な測定を行うことができます。RUDOLPH AUTO ELは、試料の積み込みと準備段階、分析段階の2段階からなる完全自動化ユニットです。サンプル調製は簡単で効率的です。内蔵ローダーは、オプションの回転プラットフォームを介して最大1インチのウェーハを含むほとんどの基板を自動的に処理します。サンプルを分析するために、RUDOLPH AUTO ELには、サンプルのnとkの値と層厚プロファイルを迅速かつ正確に測定できるアルゴリズムが組み込まれています。また、絶滅係数、膜厚、横方向の光沢、屈折率、状態の部分光子密度、絶滅比など、さまざまな光学定数を測定することができます。この機器は、精度と堅牢性のために工場で校正されており、SEMIおよびASTM規格に準拠しています。さらに、RUDOLPH AUTO ELはサードパーティ製コントローラと組み合わせて使用することができ、機器の高度な自動化と制御を可能にします。RUDOLPH AUTO EL （NIR-3）は、薄膜材料の特性を測定するための信頼性の高い自動ソリューションを研究者や技術者に提供します。使いやすい設計と統合ツールにより、複雑な薄膜サンプルを効率的かつ正確に測定できます。