中古 RUDOLPH AUTO EL IV #293628933 を販売中
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ID: 293628933
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1985
Ellipsometer, 6"
(3) Wavelengths: 405 nm, 546 nm, 633 nm
Tungsten-Halogen laser
Micro-spot
SECS II Interface
Display film thickness
Index order thickness
Build in printer: SS2 (Option)
Missing parts:
Printer paper
Spindle
Calibration standard
Manual included
1985 vintage.
RUDOLPH AUTO EL IVは、様々な表面の光学異方性を正確かつ迅速に測定するために設計された自動楕円計です。これは、材料の光学特性を簡単に測定、特性評価、制御することができ、その種の最先端の機器の1つです。可視領域と近赤外領域の両方を同時に測定できるなど、幅広い波長選択性を備えています。この装置は、サンプルのスペクトル反射と透過率を正確に測定することもできます。RUDOLPH AUTOEL IVは、サンプル表面を通過する光の屈折角度を測定するために、イメージング楕円計を使用しています。これは、異なるサンプル材料を分析するために使用することができます4波長レーザー源が装備されています。このシステムには、入射光の偏光方向を制御するための偏光コントローラと偏光ビームスプリッタも含まれています。サンプルを通過する光の角度スペクトルは、リニアインアングルダイオードアレイ検出器を備えたプローブによって収集され、測定のための高速データ収集および分析システムに送信されます。AUTO EL IVに付属している解析ソフトウェアは、測定データから厚さ、屈折率、誘電率、吸収係数などのさまざまな光学パラメータを自動計算することができます。また、ユーザーインターフェイスを介して遠隔操作することもでき、複数のサンプルの自動解析を可能にします。これにより、多数のサンプルを迅速に測定する必要がある研究および生産環境に最適です。AUTOEL IVは幅広いカスタマイズ性を備えており、ユーザーはシステムを特定のアプリケーションに合わせて調整することができます。温度制御、デジタルおよびアナログ入力、マルチビーム構成、自動イメージマッピング機能、その他多くの高度な機能を備えています。また、簡単にオンラインでパラメータを編集するためのIPエディタがあります。RUDOLPH AUTO EL IVは、市場で最も先進的な楕円計の1つであり、さまざまな材料や表面のさまざまな光学パラメータを同時に測定することができます。これは、光学特性を測定、分析、制御する信頼性の高い効率的な方法を提供します。
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