中古 RUDOLPH AUTO EL III #85240 を販売中

RUDOLPH AUTO EL III ellipsometerは薄い層の光学特性を測定し、分析するのに使用される装置です。屈折率、厚さ、層表面トポグラフィなどの光学特性を測定するために使用されます。これは、基板上の材料の層から反射光の角度と偏光を測定する楕円測定の技術を使用しています。RUDOLPH AUTOEL IIIシステムは4つの主要な部品から成っています。これらは、光源、偏光/アナライザ、UHVチャンバー、および光学ヘッドです。光源は、固定波長と発生角度のコヒーレント光のビームを生成するHe-Neレーザーです。偏光子/アナライザは、反射光の偏光楕円を投影し、測定します。UHVチャンバーは、楕円計が動作する真空を維持する真空システムです。これは、測定が周囲の空気の存在によって歪んでいないことを保証します。光学ヘッドには、入射光を照射するために使用されるミラーと、楕円角を適切に測定するための光学ミラーが含まれています。AUTO EL IIIの操作は、ユーザーフレンドリーなソフトウェアによって制御されます。これにより、入射光の波長、偏光角、およびアナライザ角を設定できます。また、屈折率、厚さ、面粗さなどの表面パラメータを設定することもできます。また、ソフトウェアは、ユーザーが測定結果を保存し、ストリップチャートの形でデータを印刷することができます。AUTOEL IIIは、他の楽器に比べていくつかの利点を提供します。迅速な測定が可能で、ラボでの高いスループットを実現します。また、多彩な薄層光学特性の測定が可能です。ソフトウェアはユーザーフレンドリーで学習が迅速であり、測定の優れた再現性と精度を備えています。RUDOLPH AUTO EL IIIエリプソメータは、薄い層の光学特性を測定および分析するための効果的なツールです。効率的で汎用性が高く使いやすく、ユーザーに高精度なデータを提供します。そのユーザーフレンドリーなソフトウェアは、実験室での使用に最適です。