中古 RUDOLPH AUTO EL III #293660700 を販売中
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ID: 293660700
ヴィンテージ: 1984
Ellipsometer
(2) Focusing lens
Focusing lens motor
Wafer carrier
1984 vintage.
RUDOLPH AUTO EL IIIは、精度と安定性を備えた薄膜特性を正確に測定するために設計された自動楕円計です。これは、有名なRUDOLPH Auto ELシリーズの最新バージョンであり、高速で信頼性が高く使いやすい機器をユーザーに提供します。この装置は、短絡型光学顕微鏡、高精度ゴニオメータ、高感度光計測器で構成されています。この装置の中心にある特許出願中の回転式ゴニオメーターは、優れた解像度と正確な角度測定を提供します。反射率、屈折率、吸収率など、さまざまな光学特性を測定するための幅広い柔軟性を提供します。ゴニオメーターに取り付けられた高解像度顕微鏡を使用して、サンプルの表面を正確に画像化します。さらに、内部光検出器は表面から戻る光の強度を測定し、サンプルの薄膜特性に関する情報を提供します。RUDOLPH AUTOEL IIIにはタッチスクリーンディスプレイが装備されており、オペレータは簡単かつ迅速にデータにアクセスし、パラメータを調整することができます。このソフトウェアライブラリは、スペクトル、楕円図、反射率データ、Tauc-Lorentzデータ、層の厚さ、堆積パラメータなどのさまざまなデータセットを取得することを可能にします。AUTO EL IIIの革新的で使いやすい設計により、薄膜特性評価や成膜など、幅広い用途に最適です。さらに、高精度で再現性に優れているため、ユーザーは正確で再現性の高い結果を得ることができます。それは薄膜の研究および製品開発、産業プロセス制御、材料分析、および多くのための完全な選択です。
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