中古 RUDOLPH AUTO EL III #293639189 を販売中

製造業者
RUDOLPH
モデル
AUTO EL III
ID: 293639189
ウェーハサイズ: 6"
Ellipsometer, 6" 1995-1996 vintage.
RUDOLPH AUTO EL IIIは、さまざまな産業用途に使用するために設計された、自動化された精密楕円計です。楕円測定は、表面から反射する光の偏光強度の研究であり、これは表面の光学特性の尺度です。RUDOLPH AUTOEL IIIエリプソメータは、オンウェーハ構造、透明で不透明な薄膜構造、およびその他の関連サンプルの膜厚と光学定数を測定します。AUTO EL IIIには、オートメーションシーケンス用に設計されたユーザーフレンドリーな自動測定システム(AMS)が搭載されており、複数のサンプルを同時に測定できます。それは50までの異なった状態か変数組合せを貯えることができオペレータが異なった測定の状態の間で速くそして容易に転換することを可能にします。AUTOEL IIIには、サンプルバケットシステムが搭載されており、最大10個のサンプルを一度に収容でき、サンプルバケットから分析スロットにサンプルを移動できるサンプルチェンジャーメカニズムを備えています。これにより、より迅速かつ効率的なサンプル分析が可能になります。RUDOLPH AUTO EL IIIは、手動アライメントシステムに搭載された精密な研究グレードの光源と検出器を備えています。これにより、オペレータは簡単に光強度、検出感度、およびサンプル間の検出距離を調整することができます。RUDOLPH AUTOEL IIIには様々なプリセットパラメータも含まれており、ボタンを押すだけでさまざまな測定を行うことができます。また、カスタムアプリケーション用に測定をプログラムすることもできます。AUTO EL IIIエリプソメータは、試料材料(誘電体)の光定数、膜厚、光学異方性、屈折率、絶滅係数、表面粗さを測定する機能を備えています。表面リリーフ解析などの高度な用途にも使用でき、プラズモン導波路などの複雑な構造の特性評価にも使用できます。AUTOEL IIIは、短時間で正確なデータと測定を提供する堅牢で信頼性の高い機器です。半導体や光学、光学部品解析、光電子デバイスの特性評価、品質管理など、さまざまな産業用途に最適です。RUDOLPH AUTO EL IIIは、高精度、高速測定を提供し、より高いスループットと生産性を実現します。
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