中古 RUDOLPH AUTO EL III #293638655 を販売中
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RUDOLPH AUTO EL IIIは、薄膜の測定用に設計された高精度エリプソメータです。これは、レーザー干渉計、放射線源、および検出器装置の3つの主要なコンポーネントで構成されています。干渉計はレーザーを使用して、角度θで回転する半波プレートを通過するビームを生成します。ビームは2つのビームに分割され、それぞれがサンプルの2つの表面から個別に反射されます。半波プレートを特定の角度に回転させることにより、反射されたビームがサンプルから異なる方向に出現します。放射線源は、解釈のために指定された波長の光を提供する責任があります。検出システムは、2つの反射ビームの強度の変化を検出するために、フォトマルチプライヤとフィルターの組み合わせを使用します。RUDOLPH AUTOEL IIIは、薄膜を測定するための高度なツールです。これは、測定ごとに1 µmの分解能で、最高の精度と精度を目指して設計されています。薄膜の厚さ、屈折率、絶滅係数、吸収係数など様々な光学特性を測定することができます。これにより、複雑な分光分析や化学分析を必要とせずに、フィルム特性を迅速かつ正確に測定できます。このユニットは、ユーザーフレンドリーでグラフィックドライブのグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)によって制御されています。AUTO EL IIIは、コーティング、薄膜、自己組立単体、および半導体基板の分析に使用できます。薄膜の特性評価と開発の研究に最適です。また、薄膜の成長パラメータを分析し、薄膜および超薄膜を測定し、多層構造の反射および吸収データを取得するために使用することができます。要約すると、AUTOEL IIIは薄膜の測定用に設計された高精度の楕円計です。干渉計、放射線源、検出器機能を備えており、その光学特性の観点から薄膜を正確に測定することができます。薄膜の特性評価や開発に適した汎用性の高い装置で、様々な研究用途にご利用いただけます。
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