中古 RUDOLPH AUTO EL III #293604275 を販売中

製造業者
RUDOLPH
モデル
AUTO EL III
ID: 293604275
Ellipsometer.
RUDOLPH AUTO EL IIIは、RUDOLPH Research Analyticalの高性能で完全に自動化された楕円計です。この楕円計は、さまざまな基板上の薄膜の厚さと屈折率の両方を測定します。プラスチックや光学系、半導体、薄膜などの材料に適しています。電動回転ステージにより、正確な角度測定を可能にし、正確な結果を得ることができます。RUDOLPH AUTOEL IIIは、レーザー干渉計システムを採用しており、手動アライメントの必要性を排除し、自動化された操作を可能にし、サンプル測定におけるオペレータのエラーを排除します。このデバイスは、反射率から数ナノメートルの膜厚の決定までの応用を可能にする4つの波長の選択肢を備えています。レーザーは、紫外線、可視および近赤外線スペクトル内の所定の波長で1mmのスポットに焦点を当てており、可視スペクトルを超えた幅広い測定を可能にします。サンプルを測定するために、AUTO EL IIIは、インシデントと反射光を多数の角度に正確に配置して、正確な反射曲線を生成します。これは、薄膜の屈折率と厚さを正確に測定するのに役立ちます。測定された曲線は、材料の光学特性に応じて光の反射を記述するコンピュータモデルと比較されます。この比較により、材料の屈折率と厚さが得られます。このソフトウェアでは、測定の精度を確認したり、特定のサンプルの反射計ジオメトリを最適化するために使用できる再現性テストも可能になります。AUTOEL IIIは、今日の市場で最も正確で正確な楕円計の1つです。半導体基板から研究材料、産業用材料まで、幅広いサンプルで薄膜を測定するための理想的なツールです。高性能レーザー、自動回転ステージ、正確な反射率データにより、薄膜測定の正確な結果を得るのに最適です。
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