中古 RUDOLPH Auto EL III-2 #9124204 を販売中
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ID: 9124204
Ellipsometer
633 HeNe laser source
4A option
X/Y stage with slide tray wavelengths of 405nm <1A or 1%
(whichever is greater)
Repeatability.
RUDOLPH Auto EL III-2は、全生産性と信頼性を高めるために構築された、精密測定機能のために設計された最先端の楕円計です。楕円計とは、表面から反射する光の反射率や偏光を測定する光学機器の一種です。Auto EL III-2楕円計には、4つの精密ミラーと回転偏光器、高性能な分光計、回転角度エンコーダ、高級光源、専用コントローラなど、多くの複雑な部品が含まれています。この装置は、250〜1700 nmの広いスペクトル範囲で動作します。光源は、入射角度と偏光の両方の測定をサンプルステージを必要とせずに行うことができます。RUDOLPH Auto EL III-2はスタンドアロンの楽器で、データを自律的に取り込むことができます。また、生産ラインに統合する機能も備えており、測定とフィードバックの制御が可能です。最初の鏡は回転して移動し、調節可能な「ドーム」に取り付けられます。この振動減衰実装技術は、最高品質の測定を可能にします。2つの偏光器は一斉に回転します。1つはミクロン精度の極めて堅牢なスピンドルに取り付けられ、もう1つは超精密ベアリングに取り付けられています。2つのスリットは、内部パワーコントローラとソフトウェアによって制御された3つの要素すべてを一斉に回転させます。シグマ、psi、 deltaの3つの回転角度は、専用の絶対エンコーダで正確に測定され、データ収集ソフトウェアに渡されます。受け取られたライトは2つの高度の光学分光計によって確立されます;一連の最上級の10ミクロンのスリットは光学CCDまたは配列の光学探知器との直接関係を可能にします。分光計は広いスペクトル範囲を持ち、1回の操作で絶対放射強度測定と入射角度測定の両方のために設計されています。Auto EL III-2楕円計の動作モードでは、入射光学系からのデータ取得が処理されます。ソフトウェアは、すべてのコンポーネントを制御するように設計されており、システムの動作モードで品質保証チェックを備えており、すべての結果を追跡可能な方法で記録します。さらに、ソフトウェアはカスタマイズされ、既存の生産ラインに統合することができます。RUDOLPH Auto EL III-2 ellipsometerは、最も複雑な測定を行うように設計された非常に正確な測定器です。最先端の機能と信頼性の高い部品は、最高の精度と再現性で高品質な結果を達成するのに役立ちます。付属のソフトウェアおよびデータ収集プロトコル、および生産ラインとの統合機能により、Auto EL III-2、精度を必要とするラボまたはエンジニアリングタスクに最適です。
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