中古 RUDOLPH AUTO EL II #293618566 を販売中

製造業者
RUDOLPH
モデル
AUTO EL II
ID: 293618566
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1983
Ellipsometer, 6" 1983 vintage.
RUDOLPH AUTO EL IIは、RUDOLPH Research Analyticalが薄膜特性評価用に製造した光学楕円計です。薄膜サンプルを偏光ビームで照らし、反射光または透過光の偏光を測定することで動作します。AUTO EL IIは偏光変調を使用しており、試料の光応答の振幅と位相の両方を同時に測定することができ、薄膜の光学特性を完全に説明することができます。このデバイスは、高速でユーザーフレンドリーであるように設計されており、精度と操作の流暢さを最大化するさまざまな機能を備えています。RUDOLPH AUTO EL IIは、0。5ミリワットのHeNeレーザーを使用して、試料に反射または透過照明された光を提供します。2つのガルバノメトリックミラーを含むビームスキャンシステムは、音響光変調器を介してビームを指示し、その後、任意の反射光または送信光を赤外線検出器を介して測定します。変調方式は、入出光の偏光状態を測定するために使用されるPC制御の4状態偏光変調です。TheAuto EL IIは、精度と効率を最適化するためのさまざまな機能を備えています。 633nm〜700nmの動作波長範囲を提供する高解像度ステッピングモータードライブを含む、 sとpポラロイドの同時測定を備えたハイダイナミックレンジ検出器、 そしてジョイスティックを使用してモーターを備えられたXY動きおよび手動動きを制御できるサンプルステージ、 広い範囲のサンプル視野を調査することを可能にします。AUTO EL IIは、RUDOLPH Films Pack、 Bulk Solutions Pack、 Substrate Solutions Packなどの強力なソフトウェアツールを提供しています。さらに、付属のPOL-ELソフトウェアスイートは、リークモード解析やフィルムモード解析などの追加の分析ツールを提供し、研究者がデータのさらなる分析を行うことができます。全体的に、RUDOLPH AUTO EL IIは、ユーザーが薄膜サンプルを迅速かつ正確に特性評価できるように設計された効果的で強力な光学楕円計です。光学式スキャンと変調、ハイエンドのソフトウェアツールとステージモータライゼーションの組み合わせにより、薄膜サンプルの正確な測定と解釈が可能です。
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