中古 RUDOLPH / AUGUST S300 #9355323 を販売中

RUDOLPH / AUGUST S300
ID: 9355323
ウェーハサイズ: 12"
Macro defect inspection system, 12".
RUDOLPH/AUGUST S300 Ellipsometerは、薄膜厚、フィルム指数、絶滅係数、粗さ、入場率、吸収係数など、サンプルの光学特性の複数のパラメータを測定するために特別に設計された、自動化された完全統合された装置です。AUGTH S300システムは、高精度で使いやすいコンパクトなワンピース楽器です。試料を試料ホルダーの上に置き、可変波長HeNeレーザーからの入射光で照らします。レーザー光は、発生角度の異なるフィルムサンプルに向けられます。反射された光は、PMT (Photo-Multiplier Tube)検出器を使用して光の強度および角度情報を測定および保存するRUDOLPH S300ユニットによって検出および分析されます。機械によって収集されたデータは、サンプルの光学パラメータを決定するために使用されます。S300ツールは、二軸ジオメトリを持ち、角度参照に独自のせん断機構を使用しており、入射角度の精密な回転と正確な値を可能にします。また、測定された光学パラメータの広いダイナミックレンジを持ち、透明、不透明、反射、散乱など、さまざまなサンプルタイプの測定を行うことができます。さらに、RUDOLPH/AUGTH S300には、収集したデータを遠隔操作および分析するためのWebベースのインターフェースが装備されています。このインターフェイスはまた、拡張制御機能を提供し、ユーザーが測定を取得して保存することができます。さらに、AUGUST S300は収集したデータのレポートを生成したり、特定のパラメータのアニメーション画像を作成してサンプルの光学特性を視覚化することもできます。RUDOLPH S300 Ellipsometerアセットは、薄膜厚の測定と光学パラメータの特性評価に最適なソリューションです。高精度な測定、幅広いサンプルタイプ、優れたレポート機能により、サンプルS300光学特性を正確に分析する必要がある人には必須のモデルとなります。
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