中古 J.A. WOOLLAM M-2000 #293631836 を販売中
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販売された
ID: 293631836
Ellipsometer
Wavelength range: 245 nm - 1000 nm
Fixed angle base
Light source
Detector
PC.
J。A。 WOOLLAM M-2000エリプソメーターは、薄膜特性評価およびプロセス制御に使用される光学機器です。M-2000には可視光スペクトル(波長632。8nm)の光を放射するヘリウムネオンレーザーが搭載されており、試料表面に侵入する前に偏光します。光の偏光は光路の光元素によって変化し、その光は既に試料表面に存在する薄膜と相互作用する。これらの光の偏光状態の変化を検出するには、サンプルの前後に配置された2つの高感度の大型ダイナミックレンジ検出器によって容易になります。J。A。 WOOLLAM M-2000の特許取得済みの独自の回転解析技術により、サンプル複写による望ましくない信号成分が排除され、これまでにない精度と再現性が得られます。傾斜したインシデントビームを使用すると、設計によるエラーが大幅に低減され、ハイスループット環境でのユーザーにとって重要な利点となります。M-2000の時間分解能も顕著で、最大1ミリ秒のシステム応答で、サンプル表面全体で急速に変化するフィルムを超高速に監視できます。測定された信号は、モデルのデータベースと最近リリースされたグローバル最適化ルーチン(Levenberg-Marquardtアルゴリズムなど)へのインタフェースを含む、付属のソフトウェアパッケージ(J。A。W。 ThinFilmLab)を使用して薄膜コンポーネントにデコンボルすることができます。これにより、複数の層を同時にフィッティングするだけでなく、任意の薄膜の厚さと光学定数を驚くほどの精度で決定することができます。さらに、追加の制御を必要とするユーザーのために、ソフトウェアパッケージは任意のモデルに合わせてカスタマイズすることができます。ポータブルアプリケーション向けに、J。A。 WOOLLAM M-2000は、電動ポジショニング付きのXYステージを内蔵しており、大規模なサンプルサイズでの自動測定が可能です。インストゥルメントは操作も非常に簡単で、シンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスにより、迅速かつ最適なデータ収集が可能です。そのコンパクトな設計、低消費電力、そして最も複雑なサンプルでも処理できる能力により、薄膜研究に関わるあらゆる研究室にとって貴重なツールとなります。
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