中古 GAERTNER L2W26D.488 #9224475 を販売中

GAERTNER L2W26D.488は、薄膜測定および特性評価用に設計された白色光スキャンエリプソメーター装置です。このシステムは、必要な測定値を正確に得るためにビーム偏光を調整する機能とともに、1〜3波長チャネルを提供します。L2W26D.488は0°と360°の間で測定でき、方位角スキャン範囲は+/-35°で、研究および生産アプリケーションに大きな柔軟性を提供します。このエリプソメーターは、光のビームを直角に2つの線形偏光成分に分割する光学素子であるWollaston Prismユニットを使用して動作します。L2W26Dは、トラックマウントされたプリズムマシンと、s偏光またはp偏光のいずれかに調整できる回転可能な偏光器を使用しています。偏光ビームは、それらが90°離れた位相シフトを受けるサンプルに向けられます。次に、最小値と最大値を選択する位相シフト角度の比率を決定し、最後に比率測定を計算します。GAERTNER L2W26D.488は、6秒角の再現性を備えた高分解能測定を提供します。この精度は、原子光学モノクロメータを使用してさらに高められ、連続的なスペクトル制御を提供し、手動でフィルタを切り替える必要がありません。このアセットには、ヘリウムネオン（HE-NE）とダイオードレーザーオプションも付属しており、さまざまな光源波長の間で選択できます。エリプソメーターには、SOPHIST S2ソフトウェアが統合されており、データの分析、レポートの作成、結果の保存が可能です。さらに、自動化されたフィルムイメージングと厚さ計算機能を提供します。これにより、ユーザーはウェーハマップをすばやく視覚化し、最大32のウェーハサイトの厚さデータを同時に提供することができます。このL2W26D.488は、生産環境から研究室まで幅広い用途に適しています。調節可能な偏光、可変スキャン角度、光源の幅広い選択、統合されたソフトウェアなど、その幅広い機能により、GAERTNER L2W26D.488あらゆる種類の薄膜測定および特性評価タスクに最適です。