中古 GAERTNER L115A #38060 を販売中
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ID: 38060
ヴィンテージ: 1984
WAFERSKAN Ellipsometer
Includes scanning stage driver unit and computer HP 9825A (on cassettes)
Configuration and documentation
Currently deinstalled
1984 vintage.
GAERTNER L115Aは、1 nmまでの超薄膜を測定する高度な自動楕円計です。この装置は、精密で正確な測定のための楕円測定の確立された原理を利用して、無人運転のための自動サンプルステージを備えています。エリプソメータは、紫外線から近赤外領域へのサンプルの光応答を様々な入射角度で測定することができます。L115Aは、高速測定、高性能、および信頼性のためのユニークでクラスをリードする光学偏光およびサンプル回転システムと一緒に焦点を当てたレーザービームを利用しています。この自動化されたユニットには、高速電子スイッチングを備えた最新の超高速レーザーベースの光学ヘッドと、1つから4つの原則光学パラメータのカスタマイズ可能なアナライザ構成が含まれています。また、ガエルトナーの革新的な水平偏光ポンププローブ設計も組み込まれており、広いスペクトル範囲で誘電体光定数を非破壊測定することができます。付属のサンプルステージは、直径44mmまでのサンプルを輸送することができ、温度プローブや非接触測定のための統合チャックなど、さまざまなアクセサリーが装備されています。機械の中心にタッチ画面のコンピュータインターフェイスがあります。この統合されたタッチスクリーンは、ユーザーがツールと対話し、それぞれの測定パラメータを設定し、サンプル要件に固有の標準化されたレシピを作成することができます。また、各キャリブレーションカーブを保存することもでき、ボタンひとつで自動データ収集が可能です。ガエルトナーのアセットソフトウェアは、パラメータの設定、サンプルの設定、機器の校正、データの分析を可能にします。収集されたデータは表形式またはグラフィカル形式で表示でき、ソフトウェアにはカーブフィッティングとプロットデータの強力な機能が含まれています。統合されたSDKもあり、モデルを他のアプリケーションに統合することができます。GAERTNER L115Aエリプソメーターは、正確な測定データとパフォーマンスをユーザーに提供するために設計された精密機器です。そのオートメーション機能と高度な機能により、幅広い研究および産業用途に最適です。
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