中古 GAERTNER L106C #116155 を販売中
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ID: 116155
ウェーハサイズ: 6"
Large substrate ellipsometer
Manual load
Stage: 15" diameter circle, rotates 360°
Radial sliding scale: Graduated in 0.1 cm increments
Total stage travel: 19.8 cm
Variable angle model
Used for measuring coatings on 14" diameter glass disks
Alignment:
Built-in axis of rotation of incident arms is in the sample plane
Method of measurement: Rotating analyzer samples (144) data points
Detector: Solid state with auto gain feature
Incidence angle: 30°, 45°, 50°, 55°. 60°, 65°. 70°, 75°, 80°, 90°
Light source: HeNe 6328A Laser gives less than 1 mW output on sample
Beam diameter (Standard): 1 mm diameter (1 X 3mm on wafer @ 70°)
Measurement time: 3 Seconds
Sample monitor:
(39) Power microscopes for surface viewing
Tilt monitor for checking sample out of flatness
Sample (wafer) size:
6" Diameter standard
3" Linear
360° Rotary motion covers any point on a 6" diameter wafer
Interface: RS232
Computer: IBM PS/2-25 Model 8525001
Film thickness range: 0-60,000 Angstroms
Accuracy: ±3 Angstroms
Repeatability: ±3 Angstrom
Refractive index: ± .005
Power: 115V, 100V, 220V, 230V, 240V.
GAERTNER L106Cは、薄膜や表面の複雑な光学特性を測定するために設計された最先端の非接触エリプソメータです。このデバイスは、優れた速度、精度、再現性を組み合わせて、フィルムの厚さと光学定数の両方を決定することができます。L106Cはコンパクトな設計を備えており、データロギングとデータ分析のためのさまざまなオプションをユーザーに提供します。高度な光学設計により、GAERTNER L106Cは透明、半透明、透明、不透明、拡散面などの幅広いサンプルを測定することができます。この装置は、偏光変調レーザダイオードを光源として使用し、測定のより高い精度を達成するために独自のデュアルアナモルフィックプリズム設計を組み込んでいます。エリプソメータは、厚さ、光学定数、屈折率などの重要なフィルムパラメータを正確に測定することができます。このシステムは、複数の発生角度を同時にスキャンすることができ、ユーザーはサンプルの複雑な光学特性をすばやく分析することができます。L106Cには、測定データを保存および分析するための包括的なソフトウェアパッケージも含まれています。ソフトウェアは、フィルムパラメータの様々な組み合わせを保存し、収集されたデータに基づいてレポートを生成するオプションで、ユーザーのニーズに最適にカスタマイズすることができます。このユニットはまた、便利で高速かつ正確なサンプル位置決めのための電動サンプルステージを備えています。これにより、ユーザーはさまざまなサンプルを迅速かつ正確にテストすることができ、一貫性のある再現可能な条件下で測定が得られるようになります。さらに、このマシンは、追加の光源を必要とせずに、照明された環境でも動作するように設計されています。GAERTNER L106Cは、薄膜や光学表面で正確で信頼性の高い測定を行うための強力で汎用性の高いツールです。高度な設計とユーザーフレンドリーなソフトウェアの組み合わせにより、速度やコストを犠牲にすることなく、正確で反復可能な結果を保証します。このデバイスは、半導体、オプトエレクトロニクス、ディスプレイ技術などのさまざまなアプリケーションに最適です。
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