中古 VEECO LSA 100 #293687430 を販売中
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ID: 293687430
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
System, 12"
Frontend module
Electrical rack
Cassette to cassette handling
Optical output module
ROFIN DC035 Laser
Laser type: Carbon monoxide laser, 5000 W
(2) AFFINITY Heat exchanger, 25 kW
SEMI / JEITA Wafer thickness and flatness
Wafer type: Doped, Un-doped and SOI Substrate
Linear motor drive
Hot chuck
Damper
Transformer: 100 V
(2) Transformers: 400 V
Gases: CO 6%, He 94%, N2, CO2, Xe
Linear scan with fixed laser
Air ambient
Temperature: 1150°C-1350°C
LSA Chamber (DSI) with chemical filter option
Signal light tower
Water leakage sensor with pan
Electric leakage breaker
Touch screen monitor
Flat panel display
Graphical user interface
PC Controller
EBARA 25AAF202 Cooling water circulation pump missing
Non-functional parts:
Plate window
Mount blades (Left and right)
(2) Chillers (25 kW, 50 kW)
2006 vintage.
VEECO LSA 100は、高性能半導体加工用に設計された最先端の拡散炉です。最先端の技術と精密制御を融合させ、様々な用途で優れた結果をもたらします。LSA 100は堅牢な構造とコンパクトなフットプリントを備えているため、研究環境と生産環境の両方に適しています。このユニットには、均一な温度分布と信頼性の高い動作を保証する高品質の水晶チューブが装備されています。管は精密な熱プロフィールを達成するために洗練された温度管理機械によって制御される一連の発熱体によって熱されます。VEECO LSA 100の主な特徴の1つは、高度なガス供給ツールです。この資産は、高純度かつ高精度の幅広いプロセスガスを提供することができます。これにより、望ましい化学反応がチューブ内で行われ、一貫した高品質のフィルム蒸着が得られます。LSA 100には、ユーザーが簡単に沈着プロセスをプログラムして監視できる革新的なプロセス制御モデルも装備されています。この機器は、温度、圧力、ガス流量、およびその他の重要なパラメータに関するリアルタイムデータを表示するユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。ユーザーは簡単にカスタムレシピを設定し、プロセスのパフォーマンスを監視し、リアルタイムで調整して結果を最適化できます。主な拡散炉ユニットに加えて、VEECO LSA 100には機能性と汎用性を高めるさまざまなアクセサリが付属しています。これらのアクセサリーには、ガスフローコントローラ、真空ポンプ、マスフローコントローラなど、半導体加工に不可欠な部品が含まれます。また、ウェーハサイズや素材にも対応しており、幅広い用途に適しています。LSA 100は、精度と信頼性が最も重要な半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されています。このユニットは、酸化、アニーリング、ドーピングなど、さまざまなプロセスを実行することができます。VEECO LSA 100は、研究や先進的な半導体デバイスの製造に関わらず、卓越した成果を達成するために必要な性能と制御を提供します。全体として、LSA 100は優れた性能、信頼性、および制御を提供する最先端の拡散炉マシンです。高度な機能、ユーザーフレンドリーなインターフェース、汎用性の高いアクセサリを備えたこのツールは、半導体加工アプリケーションに最適です。VEECO LSA 100は、新しい技術の開発や既存のプロセスの最適化を検討しているかどうかにかかわらず、優れた結果をもたらす信頼できるソリューションです。
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