中古 VARIAN 200SJ #9269475 を販売中

製造業者
VARIAN
モデル
200SJ
ID: 9269475
ウェーハサイズ: 6"
Ion implanter, 6".
VARIAN 200SJは、様々な材料を加工するために設計された高効率の拡散炉です。この炉は、48 kWの強力なジャンクション制御クエンチモータを備えており、より高速なランプレートと低熱勾配を実現し、再現性を高めています。この高性能炉は、1100°Cの調整可能な石英反応チューブを備えており、幅広い条件下での効率的な運転を容易にします。8つの加熱ゾーンを備えた炉は、最高1200°Cの温度に達することができ、高速で精密な処理が可能です。拡散炉に加えて、200SJにはプロセス能力を向上させるためのいくつかのアクセサリーも含まれています。この中には、高性能サイドアーム式ドライガスフィーダーシステム、200cc/min低圧質量分光計、精密微調整ガスミキサー、石英ガス噴射管などがあります。質量分析計は、ガス組成を監視する際の制御と精度を向上させ、ガスミキサーは正確で一貫したガス温度と圧力分布を維持するのに役立ちます。これは、拡散帯と基板の均質性を確保するのに役立ちます。石英射出管と空気圧ガス圧力の分岐も、再現可能なガス流量と局所処理のための正確な位置制御を容易にするのに役立ちます。この分岐器は、クエンチ動作時や冷却時、基板の積み下ろし前にパージ中のガス圧力と流量を正確に制御します。VARIAN 200SJは、直感的で使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えた高度なコンピューター制御機能も提供しています。これにより、ユーザーはプロセスレシピを迅速に保存およびリコールし、炉のパフォーマンスをリアルタイムで監視できます。200SJは、様々な材料を加工するための優れた拡散炉であり、プロセス能力を向上させるための高度な機能とアクセサリを備えています。これにより、幅広い温度範囲で正確で再現性のある処理をお探しのユーザーに最適です。
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