中古 VARIAN 200SJ #9181749 を販売中

VARIAN 200SJ
製造業者
VARIAN
モデル
200SJ
ID: 9181749
ウェーハサイズ: 6"
Medium implanter, 5".
VARIAN 200SJは、さまざまな用途で使用するために設計された汎用性の高い拡散炉とアクセサリーです。この強力な装置は、さまざまな用途において均一な温度および制御された大気処理を効率的に提供することができます。200SJは適用範囲が広く、調節可能な力の強力な200 kWの暖房装置が装備されています。それは2800°Cまで達することができる上昇させた温度を部屋全体で精密な温度調整を、提供します。この炉には、温度監視と精密なプロセス制御のための熱電対が内蔵されています。また、自動再点火ユニットと特定の要件に合わせて調整できる電気機械制御を備えています。VARIAN 200SJには、高品質のシールとステンレス製のバブラーで密閉された大気制御機も組み込まれています。このツールは不活性ガスと反応性ガスの両方に対応しており、CVD、 PVD、窒化、アニールなどの幅広い用途に対応しています。圧力制御とガス流量は自動マスフローコントローラで監視され、資産全体はプログラマブルロジックコントローラによって維持されます。200SJには、サンプルステージ、エンドオブランモニタリング、高速クールダウンオプション、強力な真空モデルなど、さまざまな標準的なアクセサリーも付属しています。この先進的な装置は、大規模から中型の生産アプリケーションで効率的で信頼性の高い操作を容易にするように設計されています。VARIAN 200SJはまた、システムの便利なトラブルシューティングと監視のためにリモート診断コンピュータインターフェイスを使用します。200SJは、高度な材料処理プロセスを処理するための優れたツールです。その強力なヒーター、精密な温度制御、高度な大気制御は、正確な温度とガスの流れを提供し、タイトな材料品質とプロセス制御要件を備えた産業設定に最適なツールです。
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