中古 VAC AERO VAH 1220 HV-2 #9045828 を販売中

VAC AERO VAH 1220 HV-2は、基板に幅広い材料を堆積または導入するために使用される拡散炉です。このシステムは、チャンバー、外部実装真空ユニット、電源など、いくつかのコンポーネントで構成されています。主要な部屋は2つのニクロムワイヤー発熱体および1つのアモルファスシリコン（a-Si）の発熱体から成っている3つの発熱体によって加熱されます。部屋の温度は± 5°C。の内の均一な温度のプロフィールの1220°Cに、セットアップすることができます。チャンバーはまた、105 Torrから10-10 Torrまでのレベルにポンプで送ることができます。VAC AEROは、限られた温度回復時間（LTRT）技術を備えています。この機能により、1つのアニール温度で複数の作業を集中させることができ、時間のかかる温度サイクルを排除できます。LTRTは0。1°C以内にコンピュータ化されたコントロールパネルによって制御されます。チャンバー自体に加えて、VAC AEROにはガス配送機も装備されています。この納入ツールは、必要なプロセスガスの導入を可能にする2つの制御弁で構成されています。これらのガスは、非常に低いレベルまで容易にポンプで送ることができます。最後に、この資産には、安全性と利便性を最大化するように設計された多数のアクセサリーも装備されています。これには、チャンバーおよびプロセスを監視するための火晶ガラスビューポート、オートロック式圧力除去弁、不活性ガスパージモデル、および温度測定用のインコロイグレード熱電対が含まれます。全体として、VAH 1220 HV-2は、材料を基板に堆積させるための汎用性の高いツールです。高温機能と高精度制御を備え、先進的な研究開発ラボでの使用に最適な機器として際立っています。