中古品 TRIKON / AVIZA (拡散炉＆付属品) を販売中

拡散炉は、熱処理アプリケーションの半導体業界における重要なツールです。TRIKONとAVIZAブランドは、拡散炉と関連アクセサリーの有名なメーカーです。これらの拡散炉は、精密かつ制御された熱処理のための高度な技術と機能を提供します。TRIKONとAVIZA拡散炉には、その性能と機能性を高める様々なアクセサリーが装備されています。一般的なアクセサリーには、ガスパネル、ウェーハボート、クォーツ、温度コントローラなどがあります。ガスパネルは、さまざまなプロセスに精密なガスフローを提供するのに役立ちますが、ウェーハボートはウェーハ処理中に均一な熱分布を保証します。石英チューブ、ボート、インジェクターなどの石英製品は、高い熱均一性を維持するためにウェーハを保持および転送するために使用されます。温度調節器は拡散プロセスの間に正確な温度調整を保障します。TRIKONとAVIZA拡散炉の利点は、最先端の技術、高品質の建設、信頼性にあります。優れた熱均一性、タイトなプロセス制御、再現性を提供し、優れたプロセス歩留まりとサイクル時間の短縮を実現します。これらの炉は、特定のプロセス要件を満たすために高度にカスタマイズ可能であり、半導体業界の幅広い用途に適しています。TRIKONとAVIZA拡散炉の例には、Celsiorシリーズがあります。Celsiorシリーズは、急速な熱アニーリング、RTP、および低圧CVD機能などの高度な機能を提供し、さまざまなアプリケーションに精密かつ効率的な熱処理を可能にします。その他のモデルには、汎用性とプロセス性能で知られるTMA 3000およびTMA 5000シリーズがあります。全体として、TRIKONとAVIZA拡散炉とその付属品は、半導体産業における熱処理ニーズに最先端の技術、柔軟性、信頼性を提供します。