中古 TP SOLAR MD 246 #9279732 を販売中
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ID: 9279732
ヴィンテージ: 2018
Fast firing IR furnace
Specifications:
Wafer transfer height (mm): 955 ± 35
No of lanes and pitch (mm): 2 Lanes @250 pitch (centre to lane centre), single tunnel
Wafer sizes, mono and multi crystalline (mm): MO (156 x 156), M2 (156.75 x 156.75)
Easily modified for M4 (161.7 x 161.7mm) by belt change
Belt speed range (mm/s): 50 to 170 preferred, 50 to 145 acceptable
Belt speed accuracy (%): ± 0.75
Belt type: Edge contact, NiCr Steel mesh
Wafer repeatability on belt start position to end position (mm): ± 4
Wafer breakage rate (%): 0.05 (~2.8 broken wafers per hour @ 125k wafers per day)
Roller diameter, entry / Exit (mm): 152 / 49 (excluding belt)
Feed direction: Left to right
Length (metres): 9.4 ± 0.1
Height furnace (metres): < 1.7
Height VOC oxidiser (metres): < 1.95
Weight per section (Kgs): Drying (6 legs) < 2100, firing (6 legs) < 1425, cooling (6 legs) < 1250
Functional:
Up time (%): > 98.5
Wafer to wafer temperature uniformity under full load (C): ± 5 (S 250 mm lane pitch and 180 mm pitch within each lane
VOC Oxidiser efficiency (%): > 98%
Wafer exit temperature: < 55°C
Throughput (Mean wafers/hour): > 5600 @ 180 mm wafer pitch
Maximum temperature firing: 1000°C
Maximum temperature drying: 400°C
MTBA (Minutes): > 20
MTTA (Minutes): < 0.5
MTBF (Hours): > 7700
MTTR (Minutes): s30
Power supply: 50/60 Hz, 380-480 VAC, 3 Phase
2018 vintage.
TP SOLAR MD 246はLPE Equipment Incorporatedによって設計され、製造される質の拡散炉です。最先端の設計により、拡散炉は最高品質の構造を備え、熱損失を最小限に抑え、安全性と使いやすさを実現しています。このユニットは堅牢な構造と、大小のウエハに対応するための汎用性の高いサイズを備えています。拡散炉には、性能と効率をさらに向上させるさまざまなアクセサリーも付属しています。MD 246は、高温真空拡散技術を使用して、ウェーハ上に精密な薄膜層を堆積させます。これにより、金属、酸化物、窒化物、フッ化物、ポリシリコンなどの薄膜の任意の範囲を、非常に反復可能な方法で基板に堆積することができます。この高温拡散技術により、最高レベルの再現性が保証され、薄膜層のサイズを正確に制御できます。これらの機能をサポートするために、TP SOLAR MD 246にはさまざまなアクセサリが付属しています。これらの最も重要なのは、熱損失を最小限に抑えるように特別に設計された冷却コイルです。コイルは、ウェーハの均一な冷却を可能にし、最高レベルの再現性を確保するように設計されています。この拡散炉には、安全なフィット感を確保するためにベローが付いており、真空環境で使用すると漏れにくいシールが可能です。さらに、このユニットは熱電対を備えており、拡散チャンバ内の正確な温度測定が可能です。必須アクセサリーに加えて、ユニットはまた、オプションのアクセサリーの範囲が付属しています。これらには、ヒーター、蒸発器、チラーが含まれ、それぞれが拡散チャンバーにさらなる汎用性を追加します。さらに、このユニットには、PCからユニットを完全に制御できるソフトウェアも付属しており、ユーザーは拡散プロセス中に温度やその他の変数を監視および制御することができます。全体的に、MD 246は、さまざまな機能を提供する優れた拡散炉です。堅牢な構造、高温真空拡散技術、さまざまなアクセサリにより、最高レベルの再現性と精度を保証し、安全性と使いやすさを提供します。
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