中古 TKK / TOKAI KONETSU KOGYA TRL300.300 #9351623 を販売中

TKK TRL 300。300は、再現性と信頼性の高いサンプル処理を容易にするために、さまざまなアクセサリーを備えた高効率の拡散炉です。この炉は、半導体デバイスの製造に必要な幅広い蒸着およびエッチング工程に適しています。KOGYA TRL300.300は、厳格なプロセス開発要件を満たすように設計された垂直型マルチゾーン炉です。均一な温度分布で最大の加熱を提供する水晶管ヒーターを備えています。水晶チューブは、加熱ゾーンの全長にわたって温度を精密に調整することができます。暖房ゾーンはさらに3つの領域に分かれています。各領域を異なる温度に設定することができ、特定の処理サイクルに最適な条件を提供します。この炉はターボポンプアセンブリと圧力制御ポンプ装置を内蔵しており、バックストリーミングを排除し、熱応力を最小限に抑え、さまざまなサイズのウェーハに簡単に対応できます。ポンピングシステムは、圧力の変動を最小限に抑え、処理サイクル全体で一貫した温度と圧力プロファイルを維持するように設計されています。高性能不活性ガス搬送ユニットを炉の上に取り付け、一貫したプロセス精度と再現性を確保します。ガス供給機は、必要なガス純度と流量を維持するために機能し、プロセス部品に十分な滞留時間を提供します。不活性ガス搬送ツールには、ガス搬送速度を調節するためのマスフローコントローラがさらに装備されています。マスフローコントローラは、不活性ガス供給管の流量を制御し、一貫したプロセス温度を維持し、不活性ガス汚染を制限します。この炉には、基板の酸化を防ぐために加熱ゾーンに窒素遮断ガスを供給するガスボックスモジュールも装備されています。窒素ブランケットガスは一定の圧力で維持され、運転の安全性と信頼性を確保します。TOKAI KONETSU KOGYA TRL 300。300は、最も要求の厳しい生産要件を満たすように設計された高品質で信頼性の高い効率的な炉です。その様々なアクセサリーと機能は、再現性と信頼性の高い拡散処理に非常に適しています。