中古 THERMCO TMX 9001 #9285136 を販売中

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製造業者
THERMCO
モデル
TMX 9001
ID: 9285136
ウェーハサイズ: 6"
Diffusion furnace, 6".
THERMCO TMX 9001拡散炉は、基板の高精度アニールと熱処理のために設計された完全自動化された装置です。実験室や生産環境における高温拡散プロセスに最適なソリューションです。TMX 9001は幅広い構成とオプションを備えており、さまざまなアプリケーションにカスタマイズすることができます。さらに、効率的な運用と省エネに最適化されています。THERMCO TMX 9001拡散炉の本体はステンレス製で、ヒーターチャンバー、パイロライザー、空気予熱器、プロセスコントローラの4つのコア部品を内蔵しています。ヒーター部屋は基質の均一な暖房を保障するように設計されている単相空気対流の部屋です。パイロライザーは高温燃焼室であり、正確な拡散プロセスのために窒素大気を生成するために使用されます。空気予熱器は、ヒーター室に入る前に周囲の空気が所望の温度に予熱されることを保証する効率的なファン支援システムです。プロセスコントローラは、温度、時間、圧力の正確なプロセス制御と監視を可能にするようにプログラムすることができるコンピュータ化されたユニットです。TMX 9001拡散炉には、その機能を強化するためのいくつかのアクセサリーも含まれています。これらには誘電アンテナが含まれており、二次プロセスのガス大気が均質であることを保証するために使用することができます。サンプル加熱を最適化するための専用ライナーや、複数のアプリケーションに適合するように設計されたさまざまなサンプルホルダーもあります。さらに、このユニットには自動シャットオフや過圧保護などの安全システムが装備されています。結論として、THERMCO TMX 9001拡散炉は、高精度の熱処理のために特別に設計された洗練された自動機械です。幅広いオプションとアクセサリーにより、さまざまなアプリケーションに合わせてカスタマイズでき、最適化された設計により、効率的な操作、省エネ、プロセス制御が可能です。TMX 9001は、ラボや生産環境でのアニールおよび拡散プロセスに最適です。
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