中古 THERMCO / SVG 2600 #293660859 を販売中

THERMOCOTHERMCO/SVG 2600は、統合された真空装置で動作するように設計された拡散炉およびアクセサリーです。半導体、ディスプレイ、光学材料などの先端材料の加工に使用するために設計されています。機械のデジタル制御は容易な操作のための直観的なユーザーインターフェイスのために設計されています。この炉は独立して操作できる2つのチャンバーを備えており、複数の温度ゾーンを提供します。炉は1250°Cまでの温度に達することができます。大きい部屋は炉を多目的にさせ、いろいろな適用の条件を満たすことできる多数の基質を収容できます。チャンバーには、拡散プロセスによる損傷から基板を保護するために働く交換可能なボトムライナーが含まれています。この炉には自動ガス供給システムが含まれており、デュアルアームマニピュレータユニットが付属しています。ガス供給機は、マスフローコントローラに接続された真空ラインで構成されています。これにより、純粋な不活性ガスを正確な速度で導入することができ、温度、流量、滞留時間を正確に制御することができます。このツールはプリプログラマブルに設計されており、繰り返し可能なプロセスを可能にします。デュアルアームマニピュレータのアセットにより、ウェハと基板の配置精度を向上させます。マニピュレータは、正確な基板配置が可能であり、プロセスの最適な再現性のための絶対的な再現性を可能にすることができます。SVG 2600は、すべてのプロセスパラメータを正確に制御および監視するための統合された自動制御モデルを備えています。この装置は最大25個のプログラムを保存することができ、いくつかのレシピを炉にプログラムすることができ、プロセスの再現性が容易になります。また、データロギングシステムを備えており、リアルタイムのプロセス監視とグラフ作成が可能で、分析とトラブルシューティングが容易に行えます。炉に調節可能なタイマー、温度の保護およびガスの流れ制御を含む完全な保護のための複数の安全機能があります。THERMCO 2600は、さまざまな用途のニーズに対応するために設計された汎用性の高い拡散炉です。使いやすいデジタル制御、複数の温度ゾーン、デュアルアームマニピュレータ、統合ガス供給ユニット、および自動化された制御マシンを備えています。自動化された制御ツールとデータロギングの追加機能により、正確な制御とプロセス監視が可能になります。この炉は先端材料の処理のための信頼でき、有効な選択です。