中古 THERMCO 5200 #9226173 を販売中

製造業者
THERMCO
モデル
5200
ID: 9226173
ウェーハサイズ: 6"
Diffusion furnaces, 6" SiC Tube (7) Quartz tubes.
THERMCO 5200は、高品質のマイクロエレクトロニクスおよび半導体の製造に特化した製造業者および研究開発センターで使用するために特別に設計された拡散炉および関連アクセサリーです。これは、処理中に酸素汚染がなく、非常に低い銅反応を意味する、印象的な無酸素環境を誇っています。5200は300-850°Cからの温度範囲および-10から-60°C/minへのプログラム可能な冷却率の焼戻し炉です。拡散炉は± 5°Cの温度均一性を備えており、処理サイクル全体で一貫した結果を保証します。それはまた強力な対流装置を特色にし、統合された現在のモニターおよび送金の出力を表示します。THERMCO 5200の効率は炉の部屋の繊維の絶縁材そして絶縁材の煉瓦、二重強制対流源、PLC制御されたオーブンおよび高度PIDの温度調整による。さらに、化学ポンプ、流量計、抽出バルブを含む拡散炉の高度な避難システムは、クリーンで安全な環境を確保します。反backfireのような連結の保護、温度の保護上の、および入力信号の保護は、潜在的な危険からオペレータを安全保ちます。5200は、長さ1。2m、幅30cmまでのサンプルに対応でき、多くのアプリケーションに最適です。柔軟なワイヤーラックユニットと便利な水晶チューブアクセスにより、ユーザーは簡単にサンプルを配置して取り外すことができます。取り外しウエハは、常にサンプルの安全性を確保するために、ロックで便利に固定されています。すべてにおいて、THERMCO 5200は高められた結果のための高度の技術の信頼でき、エネルギー効率が良い拡散炉です。優れた温度均一性と強力な避難機、組み込みの安全機能と組み合わせて、5200高品質のマイクロエレクトロニクスと半導体生産のための信頼性の高い選択肢になります。
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