中古 THERMCO 5200 #9148881 を販売中

THERMCO 5200は、ウェーハ処理能力を強化するために特別に設計された拡散炉およびアクセサリ機器です。温度、圧力、流量制御のフルセットを備えた5200は、精密ウェハの製造やその他の高度な微細加工ニーズに幅広い機能を提供します。THERMCO 5200は、急速な発熱と冷却の両方を可能にするオールインワンシステムです。この能力は、2つの強力で独立して制御された発熱体システムのおかげで可能です。2つのシステムは2500°Cの印象的な最高温度に達することができ、さまざまなプロセスを可能にします。さらに、最大6。9 barの圧力能力と優れた熱均一性により、オプションの拡散炉をユニットに組み込むことができます。機械の中心には、特許取得済みのチューブインチューブ発熱体があり、高性能と再現性と比類のない温度の均一性を兼ね備えています。その設計はまた、主要なチャンバーから周辺炉まで、プロセス間の簡単で持続的な接続を可能にします。このツールはまた、安全で反復可能な性能を確保するためにアクティブな要素冷却を備えています。このユニットには、広範囲のフッ素樹脂の仕上げを改善するために特別に設計された耐久性のある空冷拡散ハウジングも装備されています。この仕上げの改善は、ウェーハの寿命と性能を延ばすのに役立ちます。マルチゾーンPID制御、優れた熱および均一性、精密な圧力と流量制御、優れた温度安定性、および低いメンテナンス要件により、5200はさまざまな高度な微細加工プロセスに最適です。このユニットは、現在の生産システムへのプロセス統合も可能であり、直感的な設計インターフェイスにより、使いやすく、適切に構成できます。THERMCO 5200は、信頼性の高いグローバルサービスネットワークにも裏付けられており、資産をスムーズかつ効率的に稼働させることができる技術者への信頼性とタイムリーなアクセスを提供します。競争価格および優秀な性能によって、5200は高度の微細加工の必要性のための理想的な選択です。