中古 THERMCO 4100 #9392904 を販売中

THERMCO 4100
製造業者
THERMCO
モデル
4100
ID: 9392904
ウェーハサイズ: 5"
Furnace system, 5".
THERMCO 4100は、高品質で信頼性の高いタッチスクリーン炉の大手メーカーの拡散炉およびアクセサリーです。半導体ウェーハ、MEMS、フラットパネルディスプレイ、その他の電子機器の製造に使用される精密熱処理および関連プロセスを提供するように設計されています。第4世代のTHERMCO拡散炉は、高度なタッチスクリーン制御パネルと特許取得済みのプロセス制御装置を備えています。これにより、酸素部分圧力、アルゴン濃度、流れ、温度、圧力などの環境やプロセス変数を正確に制御する優れた機能を提供します。これらのシステムの迅速な応答時間により、効率的で生産的な熱処理の結果が得られます。4100は防蝕操作のための高度のステンレス鋼の部屋と来ます。効率的で均一な加熱を実現するセラミックコーティングのインテリアと、ウェーハ表面の均一な処理を実現する効率的な配熱システムを備えています。このデバイスには、ユーザーがリアルタイムで温度変化を監視し、プロセスに必要な調整を行うのに役立つユニークなオペレーティングユニットが含まれています。また、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えているため、ユーザーはすべての操作パラメータに簡単にアクセスできます。THERMCO 4100は、スムーズな操作と効率的な生産を保証するための付属品の配列が付属しています。各アクセサリーには、ロードロック、ウェーハ保持工具、基板ホルダー、ウェーハを容易に取り扱うためのウェーハ保持工具、基板のコーティングおよび非コーティングのためのコーター/ドレーナー工具が含まれています。炉はすばやく簡単に設置できるように設計されており、優れた性能と耐久性を保証する頑丈な構造を備えています。高度な設計により、交換部品のメンテナンスと交換が容易になり、生産を最適な効率で維持できます。4100の拡散炉は、安全で効率的な運転を保証するために、酸素レベルのモニター、過熱遮断、圧力と流量のカウンターバランス、自動シャットダウンなど、さまざまな安全機能を備えています。装置はまた速い欠陥の検出および報告機械が、問題の場合には単位の急速な修理そして再始動を保障するために装備されています。全体として、THERMCO 4100は信頼性が高くユーザーフレンドリーなツールであり、あらゆる生産範囲で効率的かつ正確なウェーハの生産を実現します。それは容易な操作および安全な操作、また速く、信頼できる結果を保障する高度の特徴の範囲と来ます。
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