中古 THERMCO 10000 #9311638 を販売中

製造業者
THERMCO
モデル
10000
ID: 9311638
ウェーハサイズ: 4"-6"
Diffusion furnace, 4"-6" Process: LPCVD Si3N4, LTO and oxide (4) Tubes Loaders included 2nd PLY Tube and LTO tube non-functional.
THERMCO 10000は、保護層を有する合金の製造、半導体ドーピング、またはあらゆる材料のフィルムまたは層を作成するなど、工業製造プロセスで一般的に使用される拡散炉およびアクセサリーキットです。この装置は、チューブ炉、統合コントローラ、プロセスガスボックス、および複数のサンプル制御を可能にするガスマニホールドで構成されています。管の炉は熱を移すのに使用される多孔質のアルミナの壁と温度を正確に制御するためにモリブデンのdisilicideの発熱体を利用する内部炉と組み立てられます。この炉は、プロセスを監視するために水晶石英ガラス表示窓で長さ8インチを測定します。水晶は3000°Cまで評価される温度です。ドアマウントされたトランスファーアームが利用可能で、サンプルの積み下ろしが可能です。システムのコントローラには、調整モニターを内蔵した5ステッププログラミングタッチスクリーン、温度とプロセスガスフローを測定する2つの精度の電子メーター、および内蔵の通信ポートが含まれています。コントローラにアラームユニットが内蔵されており、プロセス異常のオペレータにアラートを通知します。統合されたプロセスガスボックスは、複数のサンプルまたはプロセスステップにプログラムすることができる分布マニホールドを介して2つのレギュレータと窒素またはアンモニアの供給を利用しています。プロセスを開始する前に、正しいガスに一致する部品番号をコントローラに入力する必要があります。供給されたトランスファーアームは、チューブ内外のサンプルを慎重に処理するための石英または金属シリンダーの手動処理用に設計されています。機械へのすべての関係は速い切断であり、追加スペースの必要性を減らすために炉の中に置かれるかもしれません。アクセサリを含む完全な10000ツールは、より高い温度、精度、迅速な応答時間を必要とするアプリケーションに使用できます。この拡散炉とアクセサリーキットは、熟練したテクニカルサポートを必要とせずに、複数のサイクルとプロセス手順で確実に実行できるように設計されています。
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