中古 TEMPRESS TS81254 #9196754 を販売中
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販売された
ID: 9196754
Furnace
Horizontal annealing / Oxidation furnace
SCARA Robot
Digital process controller (DPC)
Digital temperature controller (DTC)
TEMPRESS System controller (TSC-2)
(1) Advanced fans assy
(2) Excess temperature controller
(8) Tube adapters
(4) Radiation heat-shield
(4) Isolation collar
(4) Profiling thermocouple for 1250mm flatzone
(4) Tubes
(5) Heating zones
System leak integrity: 10-8 cc/s He
With full automation system
Spectre HV vapor dry etch system with full automation
2014 vintage.
TEMPRESS TS81254は、TEMPRESSの高度で高性能な拡散炉とアクセサリーセットで、要求の厳しいメーカー向けにカットされています。このセットアップは、酸化アルミニウムフィルム、電子包装、太陽電池製造など、多くの拡散プロセスに適しています。このセットのコアは、1,500°C (2,732°F)までのプロセス温度用に設計されたTEMPRESS TS 81254拡散炉です。この高度なシステムは、4。5立方フィート(0。127メートル)のチャンバーと25 kPaの最大動作圧力を提供しています。エア冷却されたロープロファイル誘導加熱コイルを搭載しており、精密なレシピコントロールを保証するために、最大40kHzの超高周波を備えています。さらに、前方抽出Axial Force Fan (AFF)を備えており、均一な空気分布を確保し、酸化を防ぎ、背圧ビルドアップから保護します。TS81254アクセサリーには、炉室内の水分を最小限に抑えるために、チャンバー内の残留ガスを自動的に排出する高度な真空ロックアウトバルブ(VLOV)が含まれています。また、安全で再現性のあるガス流量を確保するために構成された大容量ガスマニホールドも含まれています。このマニホールドは窒素、アルゴン、水素システムをサポートし、信頼性の高い非スピル接続の完全性を提供します。さらに、このシステムは複数のオーブンコントローラを備えており、キーの圧力、温度、湿度の測定値を監視し、拡散プロセスに対する一定のフィードバックを提供します。このセットアップは、熱効率と電気効率の両方を高める高品位の低曲率プレナムフィルタによってさらに永続化されます。TS 81254は絶対精密を要求する製造業者のための非常に信頼でき、有効な拡散の炉および付属品セットです。このセットアップは汎用性が高く、非常にプログラム可能であり、繰り返し可能な結果を得るためのさまざまな繰り返し可能なプロセスとパラメータを提供します。さらに、高度な安全機能を備えており、人員と環境の最大限の安全性を確保しています。全体として、TEMPRESS TS81254は、高度な拡散アプリケーションに最適です。
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