中古 TEMPRESS TS81004 #9121169 を販売中

TEMPRESS TS81004は窒化物および酸化プロセスを貴金属に適用するように設計されている拡散炉および付属品セットです。拡散結合、熱酸化、窒化など様々な用途に使用されています。炉自体は、1650°Cまでの温度に到達し、正確な温度制御で1。4°C以内に温度を供給できる絶縁チャンバーで構成されています。このセットには、制御処理用のコンピュータコントローラ、ガス入口、ガス規制、排気口も含まれています。このシステムは、幅広い運用スキームにわたって正確かつ一貫した処理を可能にします。拡散炉のチャンバーは、最大1インチの試料厚さのために、最大4。5インチの基板を収容するように設計されています。拡散接合に使用する材料は、標準のプロセスカタログから入手可能な材料のいずれかから選択することができるため、さまざまな材料やプロセスに適用できます。また、熱酸化と窒化プロセスのために最大6ウェーハを保持することができるセットアップに含まれているトレイセットがあります。TS81004拡散炉セットは、システムの使用を容易にし、安全性を確保するアクセサリ部品でもサポートされています。これには、チャンバー全体の適切な空気循環を可能にし、危険なガスが蓄積するのを防ぐための排気ベンチレータ、液体窒素貯蔵および凝縮ユニット、スパーク防止スイッチや温度リミッターなどの安全装置が含まれます。TEMPRESS TS81004拡散炉とアクセサリーセットは、高精度機器と優れた産業安全機能を組み合わせたオールインワンパッケージです。拡散結合から熱酸化、窒化まで幅広いプロセス能力を提供し、あらゆる種類の基材との作業に適しています。このシステムは、生産性を最適化するために、さまざまな安全機能と部品で設計されています。