中古 TEL / VARIAN 200SJ #293608161 を販売中

製造業者
TEL / VARIAN
モデル
200SJ
ID: 293608161
ヴィンテージ: 1990
Ion implanter 1990 vintage.
TEL/VARIAN 200SJは、産業用および研究用に設計された高度な高温真空拡散炉です。96%のアルミナとステンレス製の絶縁材を備えており、ガスアシスト付きのクエンチを備えており、急速な冷却を可能にし、炉の汚染を防ぎます。炉は最高の絶縁材および圧力保護を提供する二重壁の設計が装備され、安全なシーリングのための複数のレバーのドアロックシステムを含んでいます。最大2000°Cで動作し、さまざまなルチブル、ホルダー、ウェーハ、基板に対応し、幅広いプロセスを容易にすることができます。TEL 200SJはまた、簡単な計器制御のためのカラータッチスクリーンを備えており、温度、圧力、バルブ状態などの多くのパラメータを読み取ります。その柔軟でプログラマブルなデザインは、カスタムレシピを可能にし、最大110のプロファイルをサポートします。それぞれに最大20のセグメントと64のランプがあり、後でリコールと編集のために保存することができます。これにより、アニーリング、ボンディング、エッチングなどのさまざまなプロセスの温度プロファイルを簡単に制御できます。VARIAN 200SJには、ユーザーや機器を保護し、発煙などの材料が高すぎると炉を自動的に停止する高度なインターロックシステムも装備されています。さらに、この炉には2つのガスラインが内蔵されており、アルゴン、フォーミング、不活性ガスなどのガスをチャンバーに接続できます。このユニットにはフローと圧力コントローラも含まれており、ガスの流れを微調整するのに役立ちます。炉の水晶管の設計はそれをいろいろな適用のために適したようにする長期安定性および均等性を保障します。200SJは、熱処理、硬化、コーティング、アニール、拡散結合など、さまざまなプロセスに最適です。ラボおよび産業環境向けに設計されており、高速温度プロファイルを必要とするプロセスに最適です。プログラマビリティ、高品質のパフォーマンス、ユーザーフレンドリーなデザインと組み合わせることで、さまざまなアプリケーションに最適です。
まだレビューはありません