中古 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293801781 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S拡散炉は、半導体業界や研究室で使用するために設計された固体化学拡散炉です。50〜900°Cの温度範囲で、この拡散炉は広範囲の拡散プロセスに適しています。その設計は固体グラファイトの発熱体、伝導調整された暖房カーブ、および均一な暖房を保障する圧力密封された部屋を含んでいます。この拡散炉には、さまざまな温度プロファイルに適した3ゾーンのアナログ温度コントローラが装備されています。最大限の精度のために、フロントパネルには調節可能なファンが含まれており、チャンバーの背面側の冷却、排気ポート、および熱電対接続を向上させます。これにより、拡散プロセス全体にわたって正確な温度調整と監視が可能になります。拡散プロセスに必要な高温をチャンバー全体に均一に保つために、TEL VDF-615Sは水平二重デッキガスフローボックスを備えています。これにより、ガスの流れが均一なパフォーマンスのために加熱プロセッサ全体に均等に分布することが保証されます。東京電子VDF-615Sには、拡散性能に特化した機能も多数搭載しています。側面には、急速冷却用のエアインレット、急速ガス排出用のエアパージシステム、ガスを混合するのに役立つターボディスクなどがあります。また、拡散炉は、拡散プロセスを視覚的に観察することができる光学窓を備えています。この窓は、チャンバーの汚染を防ぐために石英カバーで保護されており、幅広い温度範囲での使用に適しています。オペレータの安全性を確保するために、拡散炉に多くの機能VDF-615S組み込まれています。排気フローモニター、非常排気ポート、非常停止スイッチ、排気管に酸素センサーを搭載しています。これらの機能は、潜在的な事故を減らし、炉の環境の整合性を維持するのに役立ちます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON VDF-615S拡散炉は、幅広い拡散プロセスに適した信頼性の高い装置です。それは研究および企業のための理想的な装置を作る高度の安全特徴および温度調整を特色にします。