中古 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #293749182 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615Sは、高度な制御と計装を備えた超高精度の垂直拡散炉です。その高度な暖房および冷却機能により、さまざまな業界で幅広い拡散プロセスに対応できます。半導体製造、航空宇宙、医療機器製造など、厳しい温度制御を必要とする多くの用途において、精密な温度制御に最適なソリューションです。TEL VDF 615Sは、615mm径のステンレス製のチャンバーで、窒素雰囲気中で最高温度1000°Cの多種多様な基板を保持しています。その優れた断熱効率により、チャンバー全体で均一な温度を維持し、均一で反復可能な拡散プロセスを提供します。東京エレクトロンVDF 615Sは、迅速なチャンバー加熱と冷却のための正確で高速な炭化ケイ素の発熱体を備えています。VDF 615Sには、高度な温度コントローラ、熱電対、サーミスタを含む高精度の温度およびフローモニタリングシステムが用意されています。PID （Proportional-Integral-Derivative）コントローラは、正確な温度制御が可能で、100°Cの温度を維持することができます。TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615Sのコントローラは、より高速な加熱・冷却速度と低消費電力化を実現し、動作が経済的です。TEL VDF 615Sには、さまざまな安全性と運用機能が搭載されています。デュアルブレードの安全シャットオフシステムは、過熱または過圧条件の場合に電源を遮断します。さらに、水素によって冷却される結合装置は火花および火の発生を防ぎます。余分な安全のために、デジタルカウンターは充満、ランタイムおよび蓄積されたランタイムを記録します。TOKYO ELECTRON VDF 615Sには、さまざまな機能が追加されており、さまざまな拡散プロセスに最適です。その高精度な機械部品は、シリコン、ガリウム、窒化ガリウムなどの材料に超高精度のプロセスを提供します。また、一部の用途に不可欠な超高真空加工も可能です。最後に、その高度な機器と優れた設計は、簡単な操作とメンテナンスを可能にします。VDF 615Sの汎用性は、さまざまな拡散プロセスに最適です。高精度の機器と温度コントローラは、再現性と正確な拡散温度を提供することができますが、高度な安全機能により、幅広い業界に理想的な選択肢となります。その競争力のある価格は、効率的で信頼性の高い拡散炉を求める企業にとって経済的な選択肢となります。