中古 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-610S #9392067 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VDF-610S拡散炉は、半導体デバイス向けの高性能・自動化された加工ツールです。それは精密な温度調整および熱処理の優秀な均一性の材料の大きさそして表面拡散のための最先端の装置です。TEL VDF-610S燃焼室は高さ6cm、直径10cmの容量があり、幅広い材料の拡散が可能です。炉には、自動真空制御とプログラム可能な温度設定も装備されています。これにより、ユーザーは拡散プロセスで高い精度を達成することができます。炉はユーザーがプロセスを最適化するのを助けるためにいろいろな付属品と設計されています。真空レベルコントローラ、窒化ケイ素のるつぼ、露点監視システムなどがあります。るつぼは、チャンバー内の正確で均質で均一な温度分布を可能にします。このユニットには、電子レンジ加熱オプションも付属しており、より正確で均一な熱をチャンバーに伝達することができます。また、300Cから1800Cまで様々な温度で動作することができます。安全のため、東京電子VDF-610Sには地上障害保護装置が搭載されています。このツールは、電気的障害が発生した場合の早期警告資産として機能します。さらに、モデルの安全で信頼性の高い動作を保証するために、不活性パージアウトレットを備えています。最後に、VDF-610Sにはデジタル温度計とプログラマブルロジックコントローラが装備されています。これにより、ユーザーはチャンバー内の温度を迅速かつ正確に監視および調整することができます。炉には、温度が最大設定ポイントを超えた場合にユーザーに警告するアラーム装置も含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON VDF-610S拡散炉は、半導体材料の熱処理と拡散のための高度で汎用性の高いシステムです。複数の安全機能、精密な温度制御、ユニークなアクセサリーを備え、半導体業界の幅広いタスクに適しています。