中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPR #293666967 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPRは、信頼性の高い完全性と完璧な性能を持つウェーハを製造するために設計された品質拡散炉です。それは最も超高真空（UHV）の適用の要求に適するためにトレーサビリティおよび制御の高レベルを提供します。TEL VCM-50-003EPRは、優れた高温性能を実現する外装断熱内壁炉を備えています。これは、10-10 Torrの範囲で最大真空性能のために構築されています。この炉の設計により、UHVチャンバーと2ゾーンの真空雰囲気にわたって均一な温度分布が確保され、最適な酸素濃度が得られます。装置には、水晶反応チューブ、反応チューブを保持するための上圧ドーム、水晶チューブバーナー、および内部への容易なアクセスのためのベースサポートが取り付けられています。また、C字型のサセプター、オールステンレス製のローディングチャンバー、ドアロック機構も備えています。この炉は、半導体業界で使用されているシリコン、サファイア、窒化ガリウム（GaN）、その他の材料など、さまざまな材料で使用されるように設計されています。最大の性能とトレーサビリティを確保するために、システムで使用されるすべての材料は使用前に徹底的に洗浄されます。さらに、炭素ガス、窒素ガス、塩素ガス、その他のガス大気の正確な制御により、最も要求の厳しいUHVアプリケーションに最適です。TOKYO ELECTRON VCM-50-003EPRは、安全性を向上させるための信頼性の高い外部冷却も備えています。このユニットには、これらの冷却コンポーネント用に厳選されたサーマルホーシングとレセプタクルが付属しています。これにより、すべての外部コンパートメントが安全な温度に保たれます。さらに安全性を高めるために、機械には、安定した温度を確保するための追加のセンサーを備えた自動監視およびアラームシステムも付属しています。要約すると、VCM-50-003EPRは半導体産業によって試され、信頼されている高度な拡散炉です。高レベルのトレーサビリティと制御、オールステンレススチールローディングチャンバー、信頼性の高い外部冷却、安全性の向上のためのサーマルホーシングとレセプタクルの慎重な選択を提供します。さらに、優れた真空性能、ガス大気の精密な制御、クリーニングとメンテナンスのための容易なアクセスを備えています。