中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615T #9198250 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615Tは、半導体業界の様々なニーズに応えるために設計された拡散炉とアクセサリーです。これは、薄い酸化膜を基板に堆積させるために使用される高度な炉です。これは酸化として知られており、現代の半導体チップの製造に不可欠なステップです。TEL VCF-615T拡散炉は、最大1,100°Cの温度で動作可能で、酸化、窒化、または炉のみのモードで動作できます。この汎用性により、ゲートやソース/ドレイン拡散から接触形成まで、幅広い用途で使用できます。東京エレクトロンのVCF-615T拡散炉には、空冷式熱交換器も装備しており、冷却速度を向上させるために冷却窒素を使用することが可能です。VCF-615T拡散炉は、半導体産業に最適な機能を備えています。この炉には2つのプロセスガスラインが装備されており、デュアルガス出力と2種類のガスを同時に使用することができます。TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615Tは、炉の設定を任意のパラメータに自動的に調整し、所定の温度範囲内で稼働させることができる、使いやすい制御システムを備えたオートメーションも備えています。TEL VCF-615T拡散炉には、ユーザーが設定した非常停止ボタン、緊急電源遮断、ガス遮断システム、炉が所望の温度に達したときに検出し、それに応じて炉の電源を遮断するセンサーなど、多くの安全機能が装備されています。TOKYO ELECTRON VCF-615T拡散炉は、最先端の技術を駆使して設計された高効率でユーザーフレンドリーなシステムです。使いやすい制御システム、多彩な温度範囲、高度な安全機能を備えたVCF-615Tは、あらゆる半導体製造工場に最適です。