中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #9269439 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615Sは、精密かつ効率的な拡散プロセスを可能にする多数のアクセサリを備えた垂直拡散炉です。これは、酸化、ゲッタリング、堆積、および急速熱処理（RTP）などの半導体産業のアプリケーションのために設計されています。炉自体はステンレス鋼の熱室のような良質の部品からなされます。このチャンバーは、ユーザー調整可能なPID温度制御と0.1℃加熱精度の両方を備えた強力なデュアルゾーン加熱装置と一致します。また、チャンバーを傾けて重力補助オプションの恩恵を受けることができ、拡散プロセスでの最大の均一性を可能にします。TEL VCF-615Sには、最大200mmウェーハを保持できるクォーツボートもあります。このボートは、プロセス中にウェーハを安全に保つのに役立つダブルドームゲートによって持ち上げられます。クォーツボートはまた、より良いウェハの冷却と位置決めのために45°に傾くことができます。東京エレクトロンVCF 615Sには、自動ウェハカセットシャトルシステムが搭載されています。このPC制御ユニットは、熱室から最大0。5m離れたウェーハを移動させ、オペレータへの熱放射の影響を低減することができます。また、シャトルマシンを使用すると、ウェーハのプリロードとポストロードが可能になり、ロード時間が短縮されます。上記のすべてに加えて、TEL VCF 615Sはその性能を高めることができるいくつかのアクセサリーを提供しています。その一つが拡散モニターで、拡散プロセスをリアルタイムで監視し、安全性と精度を確保しています。モニターには、プロセスを観察し、データを入力するために使用できる組み込みのカラーディスプレイもあります。データロガーや圧力真空システムなどの他のアクセサリは、プロセスの効率をさらに高めることができます。結論として、VCF-615Sは、より効率的な使用のための多くの機能とアクセサリーを提供するよく設計された垂直拡散炉です。炉とアクセサリーはすべて安全性と精度を考慮して設計されており、半導体用途に最適なツールです。