中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #9068949 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615S拡散炉は、幅広い拡散用途向けに設計された先進的なデジタル制御装置です。この拡散炉は、制御された温度設定とウェーハの両側の均一な加熱により、迅速なプロセス時間を実現します。TEL VCF-615Sは、999°Cまで均等に分散した熱を提供するために構築されており、陽極結合、拡散アプリケーション、真空アニーリングに最適です。TOKYO ELECTRON VCF 615Sには、WINDOWベースの制御ユニット、炉、フランジヒーター、ヒータードア、信頼できるTELコンピュータ機器などのアクセサリーが含まれています。WINDOWベースの制御ユニットは、プロセスレシピのカスタマイズに使用できる使いやすいプロセス制御システムです。このパネルにより、拡散プロセス全体で温度、プロセス時間、加熱相、真空条件を観察することができます。炉は、加熱セラミックチューブで接続された上下のチャンバーで構成されています。加熱素子は上部チャンバーに配置されています。均一な温度を確保するために、上部と下部のチャンバーは定期的に同じ温度に調整されます。マルチウェーハシステムでは、特殊な熱障壁が不規則な間隔で設置され、ウェーハ表面全体に温度プロファイルが作成されます。ヒーターのドアは上部の部屋へのアクセスを提供し、フランジのヒーターは拡散プロセス中の均一な温度の維持を助けます。信頼できる東京エレクトロンコンピュータユニットは、拡散炉を管理し、処理パラメータを制御するのに役立ちます。ユーザーに安全なマシンを提供し、あらゆる場所から簡単に管理されるシステムやプロセスのリモートプロセス制御と監視を可能にします。VCF-615S拡散炉は、半導体産業の高度な拡散アプリケーションに理想的で信頼性の高いソリューションです。TEL/TOKYO ELECTRONの信頼できるコンピュータツールにより、プロセス時間の短縮、温度の均一化、プロセス管理の精度向上を実現します。