中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293749172 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615Sは、拡散炉とアクセサリーパッケージです。それは改善された効率を提供し、炉の再調整の必要性を除去する縦の割れ目の設計炉装置を含んでいます。また、拡散プロセス用の高精度の垂直分割炉や、ウェーハスタッキング、シャットリング、耐火シェル、クォーツボートなどの追加アクセサリーも含まれています。この拡散炉システムは、垂直分割炉と関連する付属品の2つの主要なコンポーネントを備えています。高品位表面処理温度を提供し、多種多様な材料で効率的かつ精密な拡散プロセスを可能にします。炉に最高温度1100°Cの150mmから200mmまで及ぶ鋳造のサイズがあります。シンプルなプロセスコントロールユニットとLEDディスプレイを備えており、プロセス設定を簡単に設定および監視できます。TEL VCF-615Sは、垂直分割炉に加えて、追加機能を提供するアクセサリーも多数含まれています。ウェーハスタッキングコンポーネントにより、複数のウェーハ基板を同時に拡散することができます。シャットリング部品により、炉をプロセス室から切断し、別のウェーハ処理ステーションに移動できます。耐火シェルと石英ボートは、拡散時に基板を固定し、外部からの汚染を最小限に抑えます。東京電子VCF 615Sは、幅広い産業用途向けに設計された効率的で信頼性の高い拡散炉です。高温表面処理、精密な温度制御、複数のアクセサリを備え、究極の加工柔軟性を実現しています。プロセス制御ツールの簡素化とユーザーフレンドリーなLEDディスプレイにより、この拡散炉アセットは、拡散プロセスを最適化し、そのパフォーマンスを最大化しようとするあらゆる環境に最適です。