中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293747356 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S
ID: 293747356
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1992
Diffusion furnace, 6" 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615Sは、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造用途を最大限に引き出すための最先端の拡散炉とアクセサリーパッケージです。洗練された温度調整と制御機能、および一貫性のある信頼性の高いパフォーマンスを保証するための幅広い機能強化を備えています。TEL VCF-615Sは、高品質のハロゲン化物をベースとした発熱体と耐久性のある耐腐食性の粉体被覆プロセスチャンバーを備えた高品位な拡散炉で構成され、クリーンで信頼性の高い環境で再現可能な結晶成長を実現します。このチャンバーは、わずか6分で到達するプロセス速度で200〜1100°Cの広範な温度範囲を備えています。東京エレクトロンVCF 615Sは、精密なPID温度調節・制御装置と、精密にデジタル制御された熱電冷却・加熱システムを備えています。この技術の組み合わせは、最も極端な温度であっても、各拡散アプリケーションの反復可能な結果を保証します。VCF-615Sには、業界をリードするLINACTIRIS o MgO(酸化マグネシウム上のニオブ酸リチウム)サセプターや幅広い交換アクセサリーなどの追加アクセサリーも含まれています。この汎用化炉パッケージは、焼結磁石系システム、デバイス包装、特殊材料研究など、最も要求の厳しい産業および実験室用途に適しています。さらに、TEL VCF 615Sは、高度なプロセス監視とデータ収集ユニット機能を提供します。これは、リモート監視と操作を保証するグラフィカルなタッチスクリーンディスプレイだけでなく、強力なデータストレージとトレンド機能が装備されています。このカスタマイズ可能なインターフェースにより、オペレータはデータに素早くアクセスし、各炉周期で変化する拡散プロセスパラメータを簡単に視覚化できます。プロセスをスムーズに動作させるために、VCF 615Sには高度な故障検出および防止マシンが含まれており、潜在的なパフォーマンスの問題をオペレータに警告します。TOKYO ELECTRON VCF-615Sは、マイクロエレクトロニクスやデバイス製造アプリケーションにおいて、安全で再現可能な結果を得るための理想的なソリューションです。この完全拡散炉パッケージは、効率と信頼性を最大限に高めるための包括的な機能を備え、業界をリードする性能、温度調整、制御を提供します。
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