中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293596062 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615Sは、半導体材料およびデバイスの研究開発に使用される拡散炉および関連アクセサリーです。0〜16Vの高電圧範囲に耐えるフル装備で、独自の自動制御機能により、最適な成長品質と再現性を実現します。高周波、低消費電力のCMOS集積、薄膜トランジスタ、熱電デバイス、MEMS、 NEMSベースのデバイス、高温超伝導体などの新しい電子材料などの先端半導体材料の開発に優れています。TEL VCF-615Sはシングルチャンバーオートマッピング炉（AMF）で、ボイドや欠陥を最小限に抑えた層の均質な成長を可能にする革新的な設計です。スリムでロープロファイルな設計により、ローディング/アンロード時間の短縮とメンテナンス作業を容易にします。このシステムは、高度な加熱および冷却技術を使用しており、毎分40°Cまでの速度で、1100ºCまでの信頼性の高い均一な処理温度を可能にします。真空チャンバー内の温度と圧力、および反応るつぼの圧力と位置を制御することができます。また、東京エレクトロンVCF 615Sの特長の1つは、0.5V段階で0〜16Vの電流と電圧を調整可能なマルチインプット電源です。これにより、成長条件を最適化するための温度、電力、時間などのカスタム成長パラメータが可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON VCF 615Sは、垂直方向および横方向の成長が可能で、窒化物材料ベースのLEDおよびレーザダイオードの研究開発、ならびにGaNおよびAlGaNベースの垂直トランジスタの開発に最適なツールです。このユニットは、最新の自動化された手動コントローラで熱狂的に構成されており、研究者がプロセスの条件とパラメータを監視および制御できるマルチレベルアクセスおよび制御マシンを提供します。また、多数の視覚および可聴アラームと通信ネットワークを備えており、製造プロセスを追跡するのに役立ちます。東京電子VCF-615Sには、温度測定用のピロメータ、ガス流量計、ガスミキサー、精密な電圧と電流測定用のイオンバレッタ、圧力コントローラなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。これにより、チャンバー圧力を正確に制御し、層の均質な成長を確保し、ボイドや欠陥の形成を防ぐことができます。また、VCF 615Sの温度均一性は± 2°C、圧力均一性は± 1mBarです。要約すると、VCF-615Sは先進的で信頼性の高い拡散炉であり、先端半導体材料およびデバイスの研究開発のために設計された付属品です。これは、比類のない精密制御と再現性を提供し、エンジニアや科学者が信頼性の高い高性能な製品を開発するのに役立ちます。