中古 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615S #293591401 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615Sは、半導体業界のニーズに合わせて設計された拡散炉とアクセサリーです。先進的な制御システムと高効率な炉部品を搭載し、高品質な半導体部品の製造に適しています。TEL VCF-615Sは、高度な温度制御を備えたダブルジャケット、4ゾーン、ポリシリコン加熱石英チューブを使用しています。炉に+/-1°Cの正確さの内で制御可能な1000°Cから1100°Cの温度較差があります。さらに、チューブは高効率の石英壁に囲まれており、継手なしの絶縁性を確保し、その表面に高温の均一性と再現性を確保します。TOKYO ELECTRON VCF 615Sは、過熱保護、圧力制御システム、および部分的に囲まれた化学雰囲気などの高度な安全機能を備えています。また、クォーツボート、蒸発キャビネット、化学蒸着（CVD）システムなど、パフォーマンスを向上させるための幅広いアクセサリーを備えています。東京電子VCF-615Sは、拡散、アニール、CVDなどのプロセスに適しています。プロセスの再現性、製品品質、コスト競争力を高めるための効率的で柔軟なプラットフォームを提供します。さらに、3チャンバー設計により、迅速な設置と試運転が可能になり、消費電力も削減できます。VCF 615Sは半導体およびLCD産業の要求の厳しい適用のための理想的な選択です。それは高い製品品質と費用対効果の高い生産の完璧な組み合わせを提供する、非常に信頼性の高い拡散炉とアクセサリーです。