中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9377249 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、各種半導体アプリケーション向けに設計されたハイエンド拡散炉および関連アクセサリーです。拡散メインフレーム、マルチユーザカセットトレイ、カセットライナー、温度センサー、温度コントローラが装備されています。拡散メインフレームは、メインフレームのスロットに直接配置され、特別なクランプを使用して固定される最大8カセットの248mmサイズを保持するように設計された8スロットプラットフォームです。カセットトレイは、さまざまなサイズの最大8カセットに対応するように設計されたマルチユーザーシステムです。カセットライナーは、均一な熱分布を助け、酸化を防ぎ、温度の均一性を促進します。これは特別なクランプと結合されて、機械のすべての部品が間違いの許容範囲内の一貫した温度に達するように単位を渡る均一な温度を保障します。TEL UX-11P10-4HT用の温度コントローラは、ツール全体を通してすべてのアクセサリ機能を正確に温度制御および制御するために設計されており、すべての重要な機能を通じて温度設定ポイントと変化速度を正確に制御するために最適化されています。室温と1250°Cの温度制御が可能です。温度調節は3つの異なった範囲の設定によって達成することができます（550Cまで）、媒体（450Cおよび下）および低い（350Cおよび下）。温度コントローラは複数の温度センサに接続され、アセット全体の温度を監視して、正確で詳細な温度測定を行います。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、半導体デバイスに精密温度制御と加工原料を提供するために設計された高度な拡散炉とアクセサリーモデルです。専用クランプ、マルチユーザカセットトレイ、温度コントローラにより、ハイエンド半導体デバイスの最適な動作と歩留まりを確保するために最適化されています。