中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198286 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、高精度な熱処理能力を様々な用途に提供する、高度で統合された拡散炉およびアクセサリ機器です。この多角形のトップローディング装置は、ステンレス製の部品から構成され、密閉されたドアメカニズムを備えた3ゾーンの封じ込めシェルを備えており、プロセスの再現性と安全性を最大限に確保しています。このシステムは、特許取得済みの「arrowhead」熱拡散設計に基づいて、2つの反対側に直接発熱体とセンターコンポーネントを備えたシングルゾーン、4チャンバーアレイによって機能します。拡散細胞の活動的な区域はホットゾーン、暖かい地帯および涼しい地帯を、独立した温度調整および1150°Cの最高温度とそれぞれ含んでいます。TiN球面プロセスステーションは、均一な拡散プロセスに合わせて設計されており、業界固有の酸化プロセスやその他のガスに対する柔軟で信頼性の高いソリューションを提供します。TEL UX-11P10-4HTは、現場放射率モニタリング機能を搭載し、拡散セル内の優れた温度均一性と安定性を提供します。オンボード分析ツールにより、ガスと温度の両方の測定でリアルタイムのプロセス監視が可能になります。さらに、カセットアダプタプレートを備えた自動ウェーハカセットプロセス、完全密閉型アクティブガスシャワー、ロードロック/チャンバーを組み合わせたアンローディングユニット、および複数の急速な熱処理機能を備えた自動ウェーハカセットプロセスをUX-11P10-4HTします。さらに、プロセスガスの安定供給を実現するために、ロープロファイルガス配送ツールを内蔵しています。このアセットには、簡単にアクセスできるメンテナンスモデルやデジタル温度読み出しディスプレイ、分析と追跡のための直感的なプロセスソフトウェア機器など、いくつかのユーザーフレンドリーな機能が搭載されています。要約すると、UX-11P10-4HTは高度で統合された拡散炉であり、さまざまな用途に対応する精密熱処理機能を備えたアクセサリーシステムです。密閉されたドアメカニズム、3ゾーン封じ込めシェル、およびin-situ放射率監視により、処理セル内の優れた温度均一性と安定性を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTの機能満載設計は、自動ウェーハカセットプロセスと複数の急速熱処理機能を備え、プロセスガスの安定供給と使いやすい機能強化に最適です。