中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198285 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT
ID: 9198285
ウェーハサイズ: 6"
Horizontal furnace, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、半導体製造、太陽電池研究、その他の脆弱で敏感な材料研究など、幅広い用途向けに設計された拡散炉および付属アクセサリパッケージです。この装置は、広範囲のプロセスガス制御を備えた真空環境での効率的な熱処理のために設計された水平平行4ゾーン炉です。各ゾーンに複数の上下電極を配置し、材料が所望の温度に加熱されるため、均質な温度を確保します。これらの電極は電子電源システムに接続されており、電流と電圧レベルを正確に制御できます。この構成はまた炉がいかに使用されるかのより大きい柔軟性を可能にします;炉の4つの地帯は各プログラムのための別の温度の独立したプログラムを動かすことができます。炉室自体は効率的な熱伝達のために設計されており、エネルギーを吸収して伝達するために最適化されたラップ状のグラファイト構造が量産されています。ホットゾーンの設計は均一な暖房のための全面帽子の形を特色にし、炉の上からの底に均一な温度の均等性を保障するために二重補強されたホウ素の窒化物の絶縁材を特色にします。システム全体をクラス1の真空容器に搭載し、低圧処理に適した環境を作り出します。パッケージには、温度やその他のパラメータを正確に調整できるプログラミングアクセサリーも含まれています。EasyGapソフトウェアパッケージは、プログラミングをはるかに効率的で使いやすいものにします。このパッケージにはパラメータベースのセットアップが含まれており、実験者にとってより柔軟性を提供します。ユーザーは真空圧力、ramprate、温度センサーの位置およびクールダウン速度のような複数の変数を制御できます。最後に、このパッケージには、拡散プロセス中および拡散プロセス後のプロセスパラメータを監視するためのさまざまなセンサーが含まれています。これらのセンサは、酸素・水素圧力センサ、温度センサ、放射センサなど多岐にわたります。これらのセンサを使用すると、ユーザーは拡散プロセス中のプロセス条件と進行状況を追跡および記録できます。全体的に、TEL UX-11P10-4HT拡散炉とアクセサリーパッケージは、正確で効率的な熱処理と研究のためのバンドルされたソリューションを提供します。包括的なハードウェアとソフトウェアパッケージにより、精度と信頼性で最も繊細で敏感な材料を処理できます。
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