中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198282 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、メモリ製造用途向けに設計された高度な拡散炉およびアクセサリパッケージです。超薄型チャンバーと高度な温度制御により、精密かつ再現性の高い加工が可能です。拡散炉には、1100°Cまでのプロセス温度の正確な制御を保証する、内蔵の広範囲の温度センサーが装備されています。そのユーザーフレンドリーなマルチタッチLCDパネルは、最大4つの異なる暖房/冷却ゾーンのセットアップと制御を簡単に行います。TEL UX-11P10-4HTでは、チューブ素材のオプションも豊富に取り揃えています。オプションのアクセサリーには、4ウェイガス流量計、1つのプロセスガスの流量制御、および均一性を向上させるオンウェーハヒーターが含まれています。必要に応じて、既存の自動フローコントローラを追加して、複数のプロセスガスをさらに制御できます。TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、オプションの回転機構を備えており、炉の基部を幅広い角度で回転させることができ、ウェーハの分割に最適です。チャンバーはまた、取り外し可能なグラファイトサセプターを備えており、所望の輪郭に完全に機械加工可能です。これにより、レシピの柔軟性が向上し、ウェーハ回転中のエッジ効果ピークが減少します。UX-11P10-4HTは非常に信頼でき、整備し易いです。その監視システムは、プロセスが発生する前にプロセスの中断を検出し、異常が発生した場合にすべての電源を自動的にシャットダウンできます。システムはクリーンで信頼性の高い単相電源で動作220V、最大12Aの電流用に設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTはcULus、 CE、 SGSの認証を取得し、欧州最高水準の安全基準を満たしています。耐久性に優れ、腐食やチャンバーの劣化を防ぐ酸化膜でコーティングされています。これらの機能により、この拡散炉とアクセサリパッケージはメモリ製造アプリケーションに最適です。