中古 TEL / TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HT #9198280 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTは、ハイスループット半導体ウェハプロセス用に設計された拡散炉およびアクセサリーです。バルクシリコン酸化から高性能材料加工まで、生産および研究用途に適しています。TEL UX-11P10-4HTは、最大4つの直径8インチのウェーハまたは2つの12インチのウェーハを並列に処理できるシングルウェーハ水平拡散炉です。装置はモジュラー設計で、主な部品はウェーハホルダー、ヒーター、ガス分配システム、電源、排気ユニット、反応ガス制御ユニットです。東京電子UX-11P10-4HTのウェハホルダーは、サセプター、セラミック誘電ヒーター、パワーリフト機構を備えています。サセプターヒーターにはAlTiCコーティングが施されており、熱均一性を向上させ、拡散プロセス中のウェーハ表面全体の温度均一性を向上させます。パワードリフト機構により、ヒーターとサセプターを垂直方向に微調整できます。UX-11P10-4HTのガス分配機は、ガスパネル、流量計、ガスラインで構成され、ウェーハ加工時に必要なガスを導入するために使用されます。工具の電源はAC発電機とDC電源で構成され、炉の加熱段階に必要な電力を供給します。TEL/TOKYO ELECTRON UX-11P10-4HTの排気アセットは、ウェーハ加工時に発生するガスを取り除き、高い排気効率を実現するよう設計されています。モデルのガス制御ユニットには、プロセス要件を達成するための適切なタイミングで必要な量のガスを注入するために必要なコンポーネントが含まれています。結論として、TEL UX-11P10-4HTは、半導体プロセスの操作を制御と効率の印象的なレベルで処理するように設計された高スループット拡散炉です。モジュール式の設計により、既存のプロセスフローに容易に組み込むことができ、サセプターヒーターとガス制御ユニットにより、正確な温度とガス管理が可能です。東京電子UX-11P10-4HTは、これらの特長により、半導体産業における生産と研究の両方において信頼性と費用対効果の高い選択肢となっています。